株式会社日立高新技术西冈明获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211239709.8，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置是由西冈明;高桥宗大;水落真树;安藤康大;山本来布设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置，能够在悬浮型载置台中确保样品的足够的位置精度。载置台装置100包括：在Y轴方向上移动的下层载置台20；从下层载置台20浮起、至少在与Y轴方向正交的X轴方向上移动的上层载置台10；利用冷却介质对下层载置台20的Y工作台2进行冷却的热交换器；和以被热交换器冷却的Y工作台2为基准来控制下层载置台20的倾斜的控制装置。
本发明授权载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种载置台装置，其特征在于，包括： 第一载置台，其能够在第一方向上移动； 第二载置台，其从所述第一载置台浮起，至少能够在与所述第一方向正交的第二方向上移动； 第一冷却部，其利用冷却介质对所述第一载置台的工作台进行冷却；和 控制装置，其以被所述第一冷却部冷却的所述第一载置台的所述工作台为基准，控制所述第二载置台的倾斜。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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