TES股份有限公司张琼镐获国家专利权
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龙图腾网获悉TES股份有限公司申请的专利喷淋头组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116266528B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211605719.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权喷淋头组件是由张琼镐;姜民旭;金圭范设计研发完成，并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋头组件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种喷淋头组件，更详细来说涉及一种在工艺开始后在基板最初被引入到腔室的情况下防止腔室内部的温度达不到适当的温度而产生的第一效应firsteffect，进而可将基板加热到适当的工艺温度的喷淋头组件。
本发明授权喷淋头组件在权利要求书中公布了：1.一种喷淋头组件，其特征在于，包括： 主盖体，与腔室顶盖连接且供给射频功率；以及 喷淋头加热器，连接到所述主盖体的下部以与所述主盖体电连接，朝向腔室内部供给工艺气体且对基板进行加热， 所述主盖体包括：主板，与所述腔室顶盖绝缘连接；以及盖板，连接到所述主板的上部且朝向所述上部突出， 所述喷淋头加热器与所述主盖体电连接以形成等电位，以在所述主盖体与所述喷淋头加热器之间不产生寄生等离子体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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