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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利外延片波长良率提升方法、系统、可读存储介质及计算机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288686B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310330903.5，技术领域涉及：C30B25/00；该发明授权外延片波长良率提升方法、系统、可读存储介质及计算机是由程海林;焦二斌;张铭信;陈铭胜;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2023-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本外延片波长良率提升方法、系统、可读存储介质及计算机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种外延波长良率提升方法、系统、可读存储介质及计算机，该方法包括：将石墨承载盘的加热丝划分为多个加热丝区域；将所述石墨承载盘上所有外延片划分为多个点集，得到多个目标区域，计算出各所述目标区域的温度斜率；添加波长系数，计算出各所述目标区域的波长斜率；根据各所述目标区域的下一炉次的平均波长与目标波长计算出下一炉次各所述目标区域的波长差；根据各所述下一炉次各所述目标区域的波长差、各所述目标区域的面积占比，采用规划求解的方法得到各温度探测器的最优设定温度变化量，以提升各所述目标区域所产出的外延片的波长良率。

本发明授权外延片波长良率提升方法、系统、可读存储介质及计算机在权利要求书中公布了：1.一种外延片波长良率提升方法，其特征在于，包括以下步骤： 将石墨承载盘的加热丝划分为多个加热丝区域，每个所述加热丝区域相互隔离，且每个所述加热丝区域上方分别有一个温度探测器用于探测控制所述加热丝区域的温度； 将所述石墨承载盘上所有外延片划分为多个点集，得到多个目标区域，将所述各温度探测器设置为第一设定温度，测量各目标区域的第一测量温度，再将所述各温度探测器设置为第二设定温度，测量各目标区域的第二测量温度，并根据所述第一设定温度、第一测量温度、第二设定温度以及第二测量温度计算出各所述目标区域的温度斜率；各所述目标区域的温度斜率的计算公式为： F=D2-D1T2-T1 式中，F表示目标区域的温度斜率，T1表示第一设定温度、D1表示第一测量温度、T2表示第二设定温度以及D2表示第二测量温度； 添加波长系数，计算出各所述目标区域的波长斜率；所述波长斜率=W×F， 式中，F表示目标区域的温度斜率，W表示波长系数； 所述波长系数为定值； 计算出各所述目标区域的下一炉次的平均波长，并根据各所述目标区域的下一炉次的平均波长与目标波长计算出下一炉次各所述目标区域的波长差；所述各所述目标区域的下一炉次的平均波长的计算公式为： NWD=WD-V×W×F 式中，NWD表示各所述目标区域的下一炉次的平均波长，WD表示各所述目标区域的本炉次的平均波长，V表示各温度探测器的设定温度变化量； 根据各所述下一炉次各所述目标区域的波长差、各所述目标区域的面积占比，采用规划求解的方法得到各温度探测器的最优设定温度变化量，以提升各所述目标区域所产出的外延片的波长良率； 所述根据各所述下一炉次各所述目标区域的波长差、各所述目标区域的面积占比，采用规划求解的方法得到各温度探测器的设定温度变化量的步骤包括： 将所述目标区域的面积占比与所述下一炉次各所述目标区域的波长差相乘，并取绝对值得到第一数值； 将各所述目标区域的第一数值相加，得到第二数值； 随机改变各温度探测器的设定温度变化量，使得所述第二数值最小，得到各温度探测器的最优设定温度变化量。

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