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中国科学技术大学安航获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种金属电极的转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116313762B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310304066.9,技术领域涉及:H10D64/01;该发明授权一种金属电极的转移方法是由安航;吕頔设计研发完成,并于2023-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种金属电极的转移方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种金属电极的转移方法,该方法包括:在聚二甲基硅氧烷薄膜上沉积金属电极,利用柔性黏附层将聚二甲基硅氧烷薄膜上的金属电极粘起并贴合至目标衬底上,去除柔性黏附层,即可完成金属电极的转移。由于聚二甲基硅氧烷薄膜的表面能低、粘附性弱,因此金属电极可以完全被柔性黏附层粘附,不会在聚二甲基硅氧烷薄膜上残留,保证了金属电极转移的完整性,提高了良率,同时由于聚二甲基硅氧烷材料价格低,因此降低了转移成本,从而实现同时兼顾高良率和低转移成本。

本发明授权一种金属电极的转移方法在权利要求书中公布了:1.一种金属电极的转移方法,其特征在于,包括: 提供第一衬底,在所述第一衬底上依次形成第一薄膜和金属电极,所述第一薄膜为聚二甲基硅氧烷薄膜,其中,在形成第一薄膜后,且在形成金属电极之前,将第一薄膜从第一衬底上撕下,并将第一薄膜原来背离第一衬底的表面贴合在第一衬底上; 提供第二衬底,在所述第二衬底上形成柔性黏附层,所述聚二甲基硅氧烷薄膜使得金属电极被所述柔性黏附层粘附且不会在所述聚二甲基硅氧烷薄膜上残留; 将所述柔性黏附层从所述第二衬底上剥离,并将所述柔性黏附层贴合在所述第一薄膜放置所述金属电极的一侧,使所述柔性黏附层覆盖所述金属电极; 提供目标衬底,将所述柔性黏附层连带所述金属电极整体从所述第一薄膜上剥离,并将所述金属电极一侧贴合至所述目标衬底上,使所述金属电极与所述目标衬底形成范德华接触; 去除所述柔性黏附层,完成所述金属电极的转移。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学技术大学,其通讯地址为:230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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