买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉国网上海市电力公司;中国电力科学研究院有限公司;重庆大学;国家电网有限公司申请的专利一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116338331B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310131903.2，技术领域涉及：G01R29/12；该发明授权一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器是由王劭菁;徐鹏;雷煜卿;杨庆;司文荣;彭国政;陆启宇设计研发完成，并于2023-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器，包括衬底、压电驱动结构、感应电极和屏蔽电极，屏蔽电极包括屏蔽电极板和设置于屏蔽电极板两侧的第一梳齿状结构，感应电极包括一对或多对对称设置于屏蔽电极两侧的第二梳齿状结构，感应电极和屏蔽电极上的梳齿呈叉指分布，压电驱动结构包括呈中心对称设置的两个驱动臂，驱动臂包括固定端和自由端，固定端安装于衬底上，两个驱动臂的自由端与分别屏蔽电极上的两个呈中心对称的位置连接；传感器工作时，设定屏蔽电极的工作模式，通过压电驱动结构使屏蔽电极周期性振动，采集感应电极上产生的携带被测电场信息的感应信号。与现有技术相比，本发明具有可进行更高频率检测、精度高等优点。

本发明授权一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器，其特征在于，包括衬底、压电驱动结构、感应电极和屏蔽电极，所述感应电极和压电驱动结构安装于衬底上；所述屏蔽电极包括屏蔽电极板和设置于屏蔽电极板两侧的第一梳齿状结构，所述感应电极包括一对或多对对称设置于所述屏蔽电极两侧的第二梳齿状结构，所述感应电极和屏蔽电极上的梳齿呈叉指分布，在初始状态下，所述感应电极和屏蔽电极上的梳齿处于同一平面，位于屏蔽电极单侧的感应电极梳齿个数与该侧屏蔽梳齿个数不同，所述压电驱动结构包括呈中心对称设置的两个驱动臂，每个所述驱动臂包括固定端和自由端，固定端安装于衬底上，两个驱动臂的自由端与分别屏蔽电极上的两个呈中心对称的位置连接；所述传感器工作时，设定屏蔽电极的工作模式，通过压电驱动结构使屏蔽电极周期性振动，采集感应电极上产生的携带被测电场信息的感应信号，改变施加在所述压电驱动结构的两个驱动臂上的驱动电压，使屏蔽电极处于不同工作模式，所述工作模式包括扭转工作模式和上下工作模式，当施加在压电驱动结构的两个驱动臂上的驱动电压幅值相等、相位相反时，屏蔽电极处于扭转工作模式，当施加在压电驱动结构的两个驱动臂上的驱动电压信号幅值相等、相位差为90°时，屏蔽电极处于上下工作模式。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人国网上海市电力公司;中国电力科学研究院有限公司;重庆大学;国家电网有限公司，其通讯地址为：200122 上海市浦东新区自由贸易试验区源深路1122号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。