细美事有限公司河道炅获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和用于处理基板的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344388B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211675450.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法是由河道炅;崔文淳;韩泳遵;梁承太设计研发完成，并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于处理基板的装置和用于处理基板的方法，具体地，公开了一种用于在多个腔室中处理基板的方法。该基板处理方法可以包括：在液体在循环管线中循环的情况下，通过用于连接循环管线和各多个腔室的供应管线对位于腔室中的基板执行液体处理，其中设置在该供应管线中的阀的下游流动的液体的每单位时间流量恒定地保持为参考流量，并且基于分配流量控制上游流量或者下游流量、以保持该参考流量，上游流量为在循环管线而不是供应管线的上游流动的液体的每单位时间流量，下游流量为在循环管线而不是供应管线的下游流动的该液体的每单位时间流量，分配流量为在阀的上游流动的液体的每单位时间流量。
本发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在多个腔室中处理基板的基板处理方法，所述基板处理方法包括： 在液体在循环管线中循环的情况下，通过用于连接所述循环管线和各所述多个腔室的供应管线对位于腔室中的基板执行液体处理，其中设置在所述供应管线中的阀的下游流动的所述液体的每单位时间流量恒定地保持为参考流量，并且 基于分配流量控制上游流量或者下游流量、以保持所述参考流量，所述上游流量为在所述循环管线而不是所述供应管线的上游流动的所述液体的每单位时间流量，所述下游流量为在所述循环管线而不是所述供应管线的下游流动的所述液体的每单位时间流量，所述分配流量为在所述阀的上游流动的所述液体的每单位时间流量， 其中，所述阀为恒压阀， 在各所述供应管线中设置位于所述恒压阀的上游的流量计，并且 使用所述流量计测量所述分配流量，并且在对所述基板执行所述液体处理的情况下所述恒压阀的开度保持恒定。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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