之江实验室;浙江大学王洪庆获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉之江实验室;浙江大学申请的专利一种基于转镜的并行三维灰度激光直写方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116382044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310467150.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于转镜的并行三维灰度激光直写方法和装置是由王洪庆;匡翠方;彭伏平;贾天浩;杨臻垚;刘旭设计研发完成，并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于转镜的并行三维灰度激光直写方法和装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种基于转镜的并行三维灰度激光直写光刻方法，其中，该方法包括：通过刻写激光器，生成刻写激光；根据光学衍射器件和刻写激光，生成多路刻写光束；根据待刻写结构的二维灰度图产生三维灰度刻写数据；基于转镜并行刻写算法和多路刻写光束的光束数，将三维灰度刻写数据拆分并写入到波形发生器的不同输出通道；在位移台移动到目标位置时，利用波形发生器的不同输出通道的三维灰度刻写数据，控制多通道声光调制器各个对应的通道的开关或振幅调制，完成对待刻写结构进行并行刻写。通过本申请，解决了相关技术中存在三维激光刻写时容易出现明显的台阶现象问题，提高了三维激光刻写速度，消除了三维激光刻写时明显的台阶现象。
本发明授权一种基于转镜的并行三维灰度激光直写方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种基于转镜的并行三维灰度激光直写光刻方法，其特征在于，包括： 通过刻写激光器，生成刻写激光；根据光学衍射器件和所述刻写激光，生成多路刻写光束； 根据待刻写结构的二维灰度图产生三维灰度刻写数据； 基于转镜并行刻写算法和所述多路刻写光束的光束数，将所述三维灰度刻写数据拆分并写入到波形发生器的不同输出通道； 在位移台移动到目标位置时，利用所述波形发生器的不同所述输出通道的所述三维灰度刻写数据，控制多通道声光调制器各个对应的通道的开关或振幅调制，完成对所述待刻写结构进行并行刻写。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人之江实验室;浙江大学，其通讯地址为：311121 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励