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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利微纳弧度量级三维角度检查装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116576818B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310474711.1，技术领域涉及：G01B21/22；该发明授权微纳弧度量级三维角度检查装置与方法是由石剑;李粤超;谭久彬设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本微纳弧度量级三维角度检查装置与方法在说明书摘要公布了：本发明提出微纳弧度量级三维角度检查装置与方法。该装置由带筋工作台、工作台转轴、工作台支撑件、驱动装置、底座、平面反射镜、自准直仪、驱动模块电路板、主控模块电路板、显示输入模块电路板、转台组成；该方法通过驱动装置使工作台产生三维角度偏转，使用两套自准直系统测量三维角度偏转，并对工作台形成闭环反馈控制；由于本发明将两套角度计量装置正交布置，能够测得工作台的三维角度偏转；使用自准直系统作为角度计量装置，极大提高了角度测量分辨力；使用丝杠加压电陶瓷的联合驱动方式使工作台角度发生的分辨力更高，从而解决了小角度检查仪无法进行三维角度检查以及角度分辨力低的问题。

本发明授权微纳弧度量级三维角度检查装置与方法在权利要求书中公布了：1.微纳弧度量级三维角度检查装置，其特征在于，包括带筋工作台1、工作台转轴2、工作台支撑件3、驱动装置4、底座7、第一平面反射镜8、第二平面反射镜9、第一自准直仪10、第二自准直仪11、驱动模块电路板12、主控模块电路板13、显示输入模块电路板14和转台22；所述驱动装置4包括第一压电陶瓷41、第一丝杠电机42、第二压电陶瓷43和第二丝杠电机44；第一压电陶瓷41、第一丝杠电机42、第二压电陶瓷43、第二丝杠电机44控制带筋工作台1绕工作台转轴2产生滚转、俯仰角度的偏转；第一平面反射镜8安装在带筋工作台1的侧边随带筋工作台1同时产生相同的角度偏转；第一自准直仪10测量第一平面反射镜8的角度值，即带筋工作台1的角度值；转台22、第二平面反射镜9产生偏航角度偏转，第二自准直仪11测量第二平面反射镜9即转台22的角度值；第一自准直仪10、第二自准直仪11测得角度值信号传入主控模块电路板13，向驱动模块电路板12发送反馈信号，驱动模块电路板12对第一压电陶瓷41、第一丝杠电机42、第二压电陶瓷43、第二丝杠电机44控制调节； 所述第一自准直仪10、第二自准直仪11是正交布置的高分辨力二维自准直仪；第一自准直仪10与带筋工作台1安装在同一高度，用于测量带筋工作台1的角度偏转；第二自准直仪11与转台22安装在同一高度，用于测量转台22的角度偏转； 所述第一平面反射镜8是第一自准直仪10的靶标，安装在带筋工作台1侧面，反射面与安装面平行；第二平面反射镜9是第二自准直仪11的靶标，安装在转台22曲面，反射面与第一平面反射镜8的反射面互相垂直； 所述工作台转轴2位于带筋工作台1的左上角；第一压电陶瓷41、第一丝杠电机42位于带筋工作台1的右上角；第二压电陶瓷43、第二丝杠电机44位于带筋工作台1的左下角；第一丝杠电机42、第二丝杠电机44用于进行大位移粗定位；第一压电陶瓷41、第二压电陶瓷43用于进行微小位移精确定位。

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