新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司吴雪佼获国家专利权
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龙图腾网获悉新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司申请的专利多晶硅生产设备故障诊断方法、装置、服务器及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116768214B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310741412.X,技术领域涉及:C01B33/021;该发明授权多晶硅生产设备故障诊断方法、装置、服务器及存储介质是由吴雪佼;呼维军;杨文文;陈文岳;宋永刚;蒋建武;鲜杨玲;海东设计研发完成,并于2023-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本多晶硅生产设备故障诊断方法、装置、服务器及存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供了一种多晶硅生产设备故障诊断方法、装置、服务器及存储介质,涉及设备故障诊断领域,方法包括:获取目标设备在预设时间窗内采集到的待分析样本数据和第一历史样本数据;并确定由设备参数构成的第一集合以及由设备参数及其对应的上下游工艺参数整体构成的第二集合;进一步根据设备均值向量和设备协方差矩阵,确定设备参数的第一稳健距离;根据整体均值向量和整体协方差矩阵,确定设备参数及其对应的上下工艺参数整体的第二稳健距离;若第一稳健距离大于第一稳健距离阈值和或第二稳健距离大于第二稳健距离阈值,确定运行状态为异常状态。保证了诊断的全面性以及诊断结果的准确性,保证了诊断时的基准的稳定性,提高了诊断效率。
本发明授权多晶硅生产设备故障诊断方法、装置、服务器及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种多晶硅生产设备故障诊断方法,其特征在于,包括: 获取目标设备在目标时间点采集到的待分析样本数据以及在多个第一历史时间点分别采集到的第一历史样本数据,所述第一历史时间点与所述目标时间点之间的时间差小于预设时间差,所述目标时间为监测时间点或任意一个历史时间点; 根据所述待分析样本数据以及所述第一历史样本数据,确定由预设的设备参数构成的第一集合以及由所述设备参数及其对应的上下游工艺参数整体构成的第二集合; 对所述第一集合中的所述设备参数进行经验模态分解,得到第三集合; 根据所述第三集合以及设备均值向量和设备协方差矩阵,确定所述设备参数的第一稳健距离;以及,根据所述第二集合以及整体均值向量和整体协方差矩阵,确定所述设备参数及其对应的上下工艺参数整体的第二稳健距离,其中,所述设备均值向量和所述设备协方差矩阵为预先根据多个第二历史样本数据中的所述设备参数确定,所述整体均值向量和所述整体协方差矩阵为预先根据多个所述第二历史样本数据中的所述设备参数及其对应的上下游工艺参数确定; 若所述第一稳健距离大于预先确定的第一稳健距离阈值,和或,所述第二稳健距离大于预先确定的第二稳健距离阈值,确定所述目标时间点对应的采样时间内所述目标设备的运行状态为异常状态,否则,确定所述运行状态为正常状态。
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