先导薄膜材料(安徽)有限公司朱庆全获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种NiCr合金靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117070904B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311166421.7，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种NiCr合金靶材的制备方法是由朱庆全;刘联平;陆维镇;欧海琳;马国成设计研发完成，并于2023-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种NiCr合金靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种NiCr合金靶材的制备方法，属于粉末冶金技术领域，本发明的制备方法：S1按重量百分比计，Ni粉用量为38‑42wt％，Cr粉用量为58‑62wt％；S2锆球与原料重量比为1:6投入混粉桶中充入氩气后在球磨机上进行混粉；S3将NiCr合金粉装模完成后进炉预压，预压至5‑8MPa后保压5‑10min后泄压；抽真空至10Pa以下，共经历三段升温至1150‑1200℃后，保温匀速加压至30‑40MPa,烧结后即得NiCr合金靶坯，磨床加工得到尺寸合适的NiCr合金靶材。本发明所制备的NiCr合金靶材氧含量低，相对密度高，晶粒粒度均匀，有效保证溅射膜的质量。
本发明授权一种NiCr合金靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种NiCr合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、原料配制：按重量百分比计，Ni粉用量为38-42wt%，Cr粉用量为58-62wt%； S2、球磨混粉：锆球与原料在氩气氛围下球磨得到NiCr合金粉，混粉期间每30min取下混粉桶上下摇晃2-3min； S3、热压烧结：NiCr合金粉装模后进炉预压，预压至5-8MPa后保压5-10min后泄压；抽真空至10Pa以下，一段升温至580-650℃，二段升温至1020-1060℃，三段升温至1150-1200℃，保温匀速加压至30-40MPa,烧结90-140min后得到靶坯，磨床加工后即得NiCr合金靶材； 所述S3中匀速加压速率为0.6MPamin。
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