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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种干涉仪波前系统误差的主动补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117213358B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311107028.0，技术领域涉及：G01B9/02055；该发明授权一种干涉仪波前系统误差的主动补偿方法是由高志山;许宁晏;袁群;郭珍艳;朱丹设计研发完成，并于2023-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干涉仪波前系统误差的主动补偿方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种干涉仪波前系统误差的主动补偿方法，为大口径干涉仪中由于第二准直透镜引入的波前误差提供主动补偿。首先在光学设计软件Zemax中建立干涉参考光路系统模型；采用多项式表征第二准直透镜引入的波前；采用Zemax中自定义面型实现对第二准直透镜的面形误差、材料均匀性误差、残余应力、装夹变形、重力变形等系统误差的建模并模拟分析这些系统误差对参考波前的影响。在干涉系统准确建模的基础之上，通过控制变形镜面形参数来补偿大口径干涉仪参考波前中由于上述误差来源导致的系统误差。本发明对参考波前中第二准直透镜引入的系统误差精确建模，并通过控制变形镜表面矢高来补偿波前误差，精度高且实用性好。

本发明授权一种干涉仪波前系统误差的主动补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种干涉仪波前系统误差的主动补偿方法，其特征在于，步骤如下： 步骤1、在大口径干涉仪的光路中增加变形镜4，具体如下： 所述大口径干涉仪的光路包括激光器1、第一准直透镜2、分光棱镜3、分光板5、第一平面反射镜6、第二准直透镜7、参考平晶8、第二平面反射镜9；激光器1出射准直波前W，该准直波前经第一准直透镜2透射后进入分光棱镜3，经分光棱镜3透射后进入变形镜4，经变形镜4反射后再经分光棱镜3反射入分光板5，经分光板5反射入第一平面反射镜6，经第一平面反射镜6反射至第二准直透镜7，经第二准直透镜7后实现扩束，其口径变大，并以准直光出射，该准直光再经标准平晶8反射回第二准直透镜7，之后被第一平面反射镜6反射，再透射过分光板5，再由第二平面反射镜9反射形成参考波前； 步骤2、利用光线变换矩阵标定第二准直透镜7引入的系统误差，从两个方向透射过第二准直透镜7的光线变换矩阵分别为和；即从第一平面反射镜6进入第二准直透镜7后出射的光线变换矩阵为，从参考平晶8进入第二准直透镜7后出射的光线变换矩阵为； 步骤3、对激光器1出射的准直波前W进行方针采样，准直波前W由N根光线向量构成，，其中第j根光线向量由光线坐标及梯度构成，即； 步骤4、结合实际光路布局确定参考波前W'与准直波前W之间的矩阵变换关系： ； 其中，、、、、、分别对应为光线在第一准直透镜2、分光棱镜3、分光板5、第一平面反射镜6、参考平晶8、第二平面反射镜9表面的光线变换矩阵，光线变换矩阵TD表征变形镜4对光线的影响，为光线在第一准直透镜2和变形镜4之间的自由空间内传输的变换矩阵，为光线在变形镜4和分光棱镜3之间的自由空间内传输的变换矩阵，为光线在分光棱镜3和分光板5之间的自由空间内传输的变换矩阵，为光线在分光板5和第一平面反射镜6之间的自由空间内传输的变换矩阵，为光线在第一平面反射镜6和第二准直透镜7之间的自由空间内传输的变换矩阵，为光线在第二准直透镜7和参考平晶8之间的自由空间内传输的变换矩阵，为光线在第一平面反射镜6和第二平面反射镜9之间的自由空间内传输的变换矩阵； 步骤5、假定参考波前W'为理想球面波，求解变形镜4对应表面梯度矩阵： ； 其中，Nj表示变形镜表面局部法线方向向量； 步骤6、采用矢量形式的数值型正交Zernike梯度多项式作为基函数G表征GD： GD=G*α 其中，α为各项数值化正交梯度多项式权重组成的向量； 步骤7、求解变形镜4表面矢高z的分布矩阵： ； 式中Z为Zernike圆域多项式除常数项外的数值矩阵，为变形镜4表面矢高z对应的系数矩阵； 步骤8、根据理论计算得到的变形镜4表面矢高分布矩阵z调整变形镜4的形状，实现对干涉仪波前中系统误差的主动补偿。

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