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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种微结构元件跨尺度超精密检测系统及工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117232426B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210627118.1，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种微结构元件跨尺度超精密检测系统及工作方法是由杨忠明;马新蕾;刘兆军设计研发完成，并于2022-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微结构元件跨尺度超精密检测系统及工作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种微结构元件跨尺度超精密检测系统及工作方法，属于精密测量技术领域，该系统基于数字全息和动态干涉的相位信息获取全口径拼接系统来完整的记录物体的信息，并对整个系统进行像差矫正，解决了测量的准确性问题，然后使用压缩感知与超分辨算法相结合的方法，去除干涉图噪声散斑的同时，提高分辨率，从而达到更高的测量精度。最后，通过扫描拼接的方法来达到毫米量级的全口径大视场检测，并使用动态干涉测量系统确保拼接过程的准确性。相较于传统的光学元件面型检测系统，本发明具有实时性、准确性、精度高、测量范围大等优点，在保证面形检测精度的同时提高绝对检测方法的效率，能够满足多种类微结构光学元件的面形快速测量的需求。

本发明授权一种微结构元件跨尺度超精密检测系统及工作方法在权利要求书中公布了：1.一种微结构元件跨尺度超精密检测系统，其特征在于，包括红绿蓝三色激光器、非偏振分束器A、空间滤波器、偏振片、偏振分束器A、偏振分束器B、偏振分束器C、偏振分束器D、彩色偏振相机、螺旋相位板、滤光片、直角反射镜、偏振相机、PZT位移台和三轴位移台； 红绿蓝三色激光器分别经由三个非偏振分束器A调制后合束，通过空间滤波器进行扩束与滤波，再经过偏振方向与光轴成45°的偏振片后透射到偏振分束器A，偏振分束器A将入射光分束成S和P两个偏振态，其中偏振方向垂直于入射面的S光分量经由其反射进入参考光路，在参考光路中经由14波片A和透镜组组成的4f系统调制后，通过显微物镜A反射回的参考光透过偏振分束器A进入成像光路； 另一路偏振方向平行于入射面的P光分量经由偏振分束器A投射进入测量光路，在测量光路中经由14波片B、透镜组调制后，经非偏振分束器B将光进行分束，一路通过测量光路照到待测物体上，并通过显微物镜B反射回携带有待测物体表面的形貌信息的光，经偏振分束器A进入成像光路，待测物体设置于三轴位移台上，另一路通过滤光片后变为532nm的单波长光束，进入动态干涉测量系统，在成像光路中，通过显微物镜A反射回的参考光与显微物镜B反射回的携带有待测物体表面形貌信息的物光经由14波片C调制后，变为旋向正交的圆偏振光入射到彩色偏振相机中发生干涉，由彩色偏振相机记录彩色数字全息干涉图； 在动态干涉测量系统中光由偏振分束器B进行分束，分为测量光路和参考光路，光在测量光路中通过偏振分束器C进行分束，一路入射到PZT位移台，反射后经过偏振分束器D与参考光进行干涉，另一路光在参考光路通过螺旋相位板被调制为右旋涡旋光，通过直角反射镜后与另一路的线性偏振光束，即参考光干涉后形成花瓣状干涉图案，由偏振相机记录。

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