先导薄膜材料(安徽)有限公司张莉兰获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利氧化物靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117303888B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311192585.7，技术领域涉及：C04B35/46；该发明授权氧化物靶材及其制备方法是由张莉兰;高建成;徐涛;汪强;余芳设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本氧化物靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于靶材技术领域，公开了一种氧化物靶材，其中，氧化锌的含量为25~30wt%，氧化钛的含量为25~30wt%，氧化铝的含量为5~12.5wt%，余量为氧化铟锡。将氧化锌、氧化钛、氧化铝粉末加入到纯水中，分散，得到浆料Ⅰ；将浆料Ⅰ进行乳化，然后球磨，得到浆料Ⅱ；将氧化铟锡粉末加入水中，分散，得到浆料Ⅲ；乳化浆料Ⅲ，然后与浆料Ⅱ、粘结剂混合，球磨，得到球磨料；喷雾干燥球磨料，然后造粒，得到球团；球团经成型后，烧结，即得到氧化物靶材。本发明提供的ITO靶材的电阻率较低，且制备方法操作简单，成本低。
本发明授权氧化物靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化物靶材，其特征在于，靶材中氧化锌的含量为25~30wt%、氧化钛的含量为25~30wt%、氧化铝的含量为5~12.5wt%，余量为氧化铟锡；靶材的电阻率为2.7×10-5~3.2×10-5Ω·m。
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