上海普达特半导体设备有限公司石海林获国家专利权
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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利半导体工艺设备开门机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117306980B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311295799.7，技术领域涉及：E05F15/53；该发明授权半导体工艺设备开门机构是由石海林;刘二壮设计研发完成，并于2023-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备开门机构在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体工艺设备开门机构，包括驱动件、旋转件、支撑连接件、阻尼缓冲件及位置检测结构，通过驱动件提供运行动力，带动旋转件进行周向往复转动以调节门板的开关状态；通过与旋转件对应设置的阻尼缓冲件可减少刚性碰撞，降低噪音，同时提高机台稳定性，增加机台寿命；通过位置检测结构的设置，可及时反馈门板的开关状态，保障晶圆传输的安全性；进一步的，通过调节限位块的设置，可对门板的开合角度进行调整，提高适用性；可适用于单门或双门半导体工艺设备，且驱动件的伸缩方向可包括沿横向或沿竖向伸缩，适用范围广。
本发明授权半导体工艺设备开门机构在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备开门机构，其特征在于，所述半导体工艺设备开门机构包括： 驱动件，所述驱动件包括伸缩部； 旋转件，所述旋转件包括第一连接端、第二连接端、第一接触端及第二接触端，所述第一连接端与所述伸缩部旋转连接，所述旋转件呈“上”字形，所述第一连接端、所述第二连接端、所述第一接触端及所述第二接触端分别位于“上”字的端部，且所述第一接触端及所述第二接触端分别位于“上”字中的长横的两端；还设置有与所述第一接触端及所述第二接触端对应设置的限位块； 支撑连接件，所述支撑连接件与门板固定连接，且所述支撑连接件与所述第二连接端固定连接，所述旋转件在所述伸缩部的带动下进行周向往复转动以调节所述门板的开关状态； 阻尼缓冲件，所述阻尼缓冲件与所述第一接触端及所述第二接触端对应设置； 位置检测结构，所述位置检测结构包括对应设置的传感器与感应片，且所述感应片与所述门板同步运行。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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