电子科技大学长三角研究院(湖州)周柳江获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学长三角研究院(湖州)申请的专利一种氮化铝薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117568748B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311674317.9，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权一种氮化铝薄膜及其制备方法是由周柳江;李晨;张永起;夏新辉设计研发完成，并于2023-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化铝薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氮化铝薄膜及其制备方法，其制备方法包括以下步骤：取铝源，将其洗净备用；将洗净的铝源置于射频等离子体系统中，采用铵盐等离子体对铝源进行预处理；然后继续采用氮等离子体对铝源进行处理；处理结束后通入惰性气体，冷却至常温，制得。采用该方法制备的氮化铝薄膜具有制备方法简单，制备效率高的优点，可有效解决现有技术中存在对设备要求高、对制备参数要求高，制备工艺复杂等问题。
本发明授权一种氮化铝薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氮化铝薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 将铝源置于射频频率为13.56MHz的射频等离子体系统中，先采用铵盐等离子体对铝源进行预处理；然后继续采用氮等离子体对铝源进行处理；处理结束后通入惰性气体，冷却至常温，制得； 铝源包括铝箔、铝片、铝板、氧化铝片、氧化铝箔和氧化铝板中的任意一种； 铵盐包括氟化铵、氯化铵、碳酸氢铵、硫酸氢铵和硝酸铵中的任意一种。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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