南方科技大学邓辉获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118952006B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410953162.0，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备是由邓辉;李昕宇;何铨鹏;王银惠;赵公魄;丁雪苗设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备，包括：将金刚石的待抛光面与抛光盘相贴合，并使待抛光面与抛光盘相互挤压；使携带有氧自由基和羟基自由基的低温等离子体对金刚石进行持续辐照，以使低温等离子体在预设低温条件下对金刚石进行活化改性作用，在待抛光面上持续生成活性化学键；抛光盘对待抛光面进行抛光作业，以使活性化学键断裂；通过活性化学键生成与断裂的循环往复，以使待抛光面的原子层逐层去除，实现对金刚石的待抛光面的抛光。本申请在低温条件下，通过原子层逐层去除的方式实现精细抛光，减少了金刚石表面及亚表面的损伤，抛光过程温和，抛光效果良好。由此得到的金刚石，表面达到原子级光滑程度，不会出现塌边情况。
本发明授权一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种金刚石抛光方法，其特征在于，所述方法包括： 将金刚石的待抛光面与抛光盘相贴合，并使所述待抛光面与所述抛光盘相互挤压； 使用携带有氧自由基和羟基自由基的低温等离子体对所述金刚石进行持续辐照，以使所述低温等离子体在预设低温条件下对所述金刚石进行活化改性作用，在所述待抛光面上持续生成活性化学键；达成所述预设低温条件具体包括：所述低温等离子体向所述金刚石进行持续辐照，使得所述待抛光面的温度达预设温度，所述预设温度小于150℃； 所述抛光盘对所述待抛光面进行持续抛光作业，以使所述活性化学键断裂；通过所述活性化学键生成与断裂的循环往复，以使所述待抛光面的原子层逐层去除，实现对所述金刚石的所述待抛光面的抛光。
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