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上海御微半导体技术有限公司梁杰获国家专利权

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龙图腾网获悉上海御微半导体技术有限公司申请的专利掩模版转移装置及掩模版转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119087752B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411451515.3,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权掩模版转移装置及掩模版转移方法是由梁杰;周昊;郑教增设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

掩模版转移装置及掩模版转移方法在说明书摘要公布了:本发明涉及电子产品生产技术领域,具体公开了一种掩膜版转移装置及掩膜版转移方法,其中,开盖机构设于底座且用于将掩膜版储存盒的盖体打开;转移机构设于底座,且转移机构的输出端具有用于从掩膜版储存盒中抓取掩膜版的抓取组件,抓取组件中,两个夹持件均沿宽度方向能移动地约束于抓取座,且能相互靠近或远离;两个转动件沿宽度方向间隔设置,且均被布置成能以自身轴线为轴转动;夹持传动件呈带状,且绕设于两个转动件之间,并于两个转动件之间形成两个均沿宽度方向延伸且相互平行的传动部,两个传动部分别与对应的夹持件传动连接;夹持驱动器设于抓取座,且输出端与夹持件或其中一个转动件驱动连接。上述设置降低了人工的劳动强度。

本发明授权掩模版转移装置及掩模版转移方法在权利要求书中公布了:1.掩模版转移装置,能打开掩模版储存盒1000,并将其中的掩模版2000取出,其特征在于,包括: 底座100; 开盖机构200,设于所述底座100且用于将所述掩模版储存盒1000的盖体1200打开; 转移机构300,设于所述底座100,且所述转移机构300的输出端具有抓取组件310,所述抓取组件310用于从所述掩模版储存盒1000的盒体1100中抓取掩模版2000,所述抓取组件310包括: 抓取座311; 两个夹持件312,均沿宽度方向能移动地约束于所述抓取座311,且能相互靠近或远离; 两个转动件,沿宽度方向间隔设置,且均被布置成能以自身轴线为轴转动; 夹持传动件314,呈带状,且绕设于两个转动件之间,并于两个转动件之间形成两个均沿宽度方向延伸且相互平行的传动部,两个所述传动部分别与对应的夹持件312传动连接; 夹持驱动器315,设于所述抓取座311,且输出端与所述夹持件312或其中一个转动件驱动连接; 所述转移机构300还包括旋转驱动器380和方位检测件360,所述旋转驱动器380的输出端与所述抓取座311驱动连接,以驱动所述抓取座311绕自身轴线转动,所述方位检测件360用于检测掩模版的方位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海御微半导体技术有限公司,其通讯地址为:201208 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路899号10幢1-4层01室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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