北京理工大学;中国电子科技集团公司第二十九研究所杜明宸获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学;中国电子科技集团公司第二十九研究所申请的专利一种时频整形飞秒激光共形天线图案化在线加工监测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119304401B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411711187.6,技术领域涉及:B23K26/70;该发明授权一种时频整形飞秒激光共形天线图案化在线加工监测装置是由杜明宸;张玲;邓超;刘镜波;王猛猛设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种时频整形飞秒激光共形天线图案化在线加工监测装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于跨尺度时空频整形飞秒激光的共形天线构件制造系统及方法,属于微纳加工技术领域。该系统包括超快激光激发模块、激光脉冲时频整形模块、脉冲检测模块、在线监测模块及聚焦高速扫描振镜模块。通过该系统,实现了对共形天线电路图案的高选择性、大幅面、三维精密加工,确保基底无损伤。加工过程结合飞秒激光时频整形技术,利用可调节的脉冲序列和高速振镜系统实现异质多层结构的分层扫描与精确去除,避免了现有技术中存在的材料损伤、尺寸精度低等问题。本发明还集成了在线深度监测功能,显著提高了加工效率和成型质量,适用于复杂曲面异质薄膜材料的高精度图案化加工。
本发明授权一种时频整形飞秒激光共形天线图案化在线加工监测装置在权利要求书中公布了:1.基于跨尺度时频整形飞秒激光的三维共形天线的电路图案化加工方法,其特征在于: 曲面共形天线基板由电介质层和导电复合膜两部分组成,电介质层为聚合物peek,能量吸收机制随着激光中心波长的改变有着明确地变化规律,导电复合膜为10μm铜膜,1μm镍膜和0.5μm金膜,其烧蚀阈值随着时域整形脉冲延时和脉冲个数的改变有着明确地变化规律;对飞秒激光进行时域和频域整形,在时间上分成间隔为0.1-2ps的脉冲序列,在频域上改变激光的中心波长实现1030nm和515nm双波长,通过脉冲波长,脉冲延时和脉冲个数的调控实现共形天线表面电路的逐层选择性去除和基底高质量加工; 通过脉冲波长,脉冲延时和脉冲个数的调控实现共形天线表面电路的逐层选择性去除和基底高质量加工的具体方法为:基于金属复合膜和聚合物基底的烧蚀阈值随着时域整形脉冲延时和脉冲个数改变的变化规律,区分各组分在同条件下的阈值差异性,根据加工深度的改变选择时域整形飞秒激光加工参数进行加工;当进行表面金属复合膜去除时,采用不同金属膜在同一条件下阈值差异小的时域整形脉冲延时和扫描速度进行加工,实现异质材料去除一致性,同时采用在线监测模块实时采集加工区域的等离子体发射光谱信息和光学图像,获取金属复合膜的加工过程中深度信息;当进行基底和金属膜接触界面加工时,采用在同一条件下阈值差异较小的频域整形改变脉冲中心波长进行加工,调控基底能量吸收机制实现聚合物基底无碳化加工; 时频整形飞秒激光实现共形天线图案化在线加工监测装置, 包括沿着激光光路依次设置的超快激光激发模块、激光脉冲时频整形模块、脉冲检测模块、深度在线监测模块以及聚焦高速扫描振镜模块; 所述激光脉冲时频整形模块,包括可编程色散控制滤波器,BBO晶体,基于晶体声光效应和光学非线性效应,产生跨时域尺度的整形超快激光脉冲序列,所述整形超快激光脉冲序列包括激光中心波长,脉冲序列跨尺度时域间隔,激光脉冲宽度,子脉冲激光能量和宏脉冲与子脉冲的重复频率; 所述脉冲检测模块,包括自相关仪、光谱仪,在激光脉冲时频整形模块之后,将激光光束经过分束镜按比例分开后引入检测模块中,用于实时检测所调控的整形脉冲序列的光谱信息与脉冲形状,建立加工所需参数库; 所述深度在线监测模块,包括4f光学搬运系统,微型光纤光谱仪,用于加工过程中的激光作用区域物质等离子体发射光谱的信号采集,实时获取加工过程中的深度信息; 所述聚焦高速扫描振镜模块,包括高速扫描振镜、聚焦场镜和三轴高精度位移台,用于将整形超快激光脉冲序列聚焦,并对聚焦光斑位置进行精确控制实现定点去除; 所述超快激光激发模块发射的超快激光束,经过激光脉冲时频整形模块和聚焦高速扫描振镜模块后,形成加工光路。
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