广州兴森快捷电路科技有限公司;珠海兴森半导体有限公司郭耀强获国家专利权
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龙图腾网获悉广州兴森快捷电路科技有限公司;珠海兴森半导体有限公司申请的专利一种翘曲检测装置、载板制造及其翘曲监测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119321709B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411294330.6,技术领域涉及:G01B5/00;该发明授权一种翘曲检测装置、载板制造及其翘曲监测方法是由郭耀强;陈黎阳设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种翘曲检测装置、载板制造及其翘曲监测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种翘曲检测装置、载板制造及其翘曲监测方法,其中翘曲检测装置包括支架、应力检测层和显影层。支架作为基础支撑结构,应力检测层连接于支架,显影层同样连接于支架并与应力检测层间隔设置。应力检测层设计成能够受到载板的抵压而朝向显影层方向变形,直至与显影层接触并使得显影层产生痕迹。于是,载板的翘曲情况能够直观地通过显影层上的痕迹显示出来,便于快速判断载板的翘曲位置,进而便于生产人员能够及时调整生产工艺或生产设备,降低载板的过度翘曲带来的损失。
本发明授权一种翘曲检测装置、载板制造及其翘曲监测方法在权利要求书中公布了:1.一种翘曲检测装置,适用于检测载板的翘曲量,其特征在于,包括: 支架; 应力检测层,连接于所述支架; 显影层,连接于所述支架,并与所述应力检测层间隔; 其中,所述应力检测层配置成能够受所述载板抵压而朝靠近所述显影层的方向变形至抵压所述显影层,以在所述显影层上产生并显现出痕迹; 所述应力检测层配置为具有多根彼此横竖交错排布的检测线,所述支架包括多个绕设于所述显影层周侧的准直器,各所述检测线安装于所述准直器,且所述检测线配置为能够相对于所述准直器伸出或回缩,所述准直器配置为能够随所述检测线的伸出或回缩而转动; 所述应力检测层配置为具有多根彼此横竖交错排布的检测线,且所述应力检测层设有压力传感器,所述压力传感器配置为能够检测各所述检测线受所述载板抵压的压力; 所述支架配置为能够朝靠近所述载板的方向运动,所述应力检测层配置为能够沿平行于所述支架运动路径的方向相对于所述显影层运动,以便于根据所述载板的最大预设翘曲值调整所述翘曲检测装置的检测范围; 沿所述支架运动的方向,所述翘曲检测装置具有定位位置,所述翘曲检测装置还包括运载盘,所述运载盘配置为能够承载所述载板并配置为能够相对于所述支架运动,以使所述载板位于所述定位位置; 所述翘曲检测装置还包括驱动件,所述支架具有初始位置、预备位置以及工作位置,所述驱动件连接于所述支架,所述驱动件配置为能够驱动所述支架在所述初始位置、所述预备位置以及所述工作位置之间运动,当所述支架处于初始位置时,所述载板待进入所述定位位置,当所述支架处于所述预备位置时,所述载板位于所述定位位置,当所述支架处于所述工作位置时,所述载板抵压于所述应力检测层且所述应力检测层抵压于所述显影层。
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