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龙图腾网获悉西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司申请的专利一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119549988B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411590021.3，技术领域涉及：B23P15/00；该发明授权一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法是由吴昊;贾志强;肖胜;陈昊;张龙;王飞宇设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法，该方法包括：对电子束熔炼的高纯钽依次进行一次锻造、二次锻造和三次锻造，然后对三次锻造后的高纯钽进行一次交叉轧制得到中间靶坯；最后对中间靶坯沿厚度方向上平均切分后进行二次交叉轧制得到钽靶坯。本发明采用上述方法制备得到的钽靶坯微观组织细小，取向分布均匀，沿钽靶坯厚度方向上，平均晶粒尺寸≤60μm，{100}织构占比≥35％，{111}织构占比≤30％，并且制备的钽靶坯直径≥500mm，厚度≥10mm，能够满足12英寸晶圆的溅射镀膜要求。

本发明授权一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一、一次锻造：将电子束熔炼完成后的高纯钽在油压机上进行一次锻造，然后进行高温退火处理；所述一次锻造的具体过程包括：沿着轴向对高纯钽进行多道次镦粗至原高度的12，随后再进行多道次拔长至原高度，所述镦粗和拔长的每道次均为大变形，道次变形量均为18%~20%；所述高温退火处理的温度为1220℃~1280℃，保温时间为1h； 步骤二、二次锻造：将步骤一中高温退火处理后的高纯钽进行二次锻造，然后进行中温退火处理；所述二次锻造的具体过程包括：沿着轴向对高纯钽进行多道次镦粗至原高度的12，随后再进行多道次拔长至原高度，所述镦粗和拔长的每道次均为中变形，道次变形量均为12%~13%；所述中温退火处理的温度为1120℃~1180℃，保温时间为1h； 步骤三、三次锻造：将步骤二中中温退火处理后的高纯钽进行三次锻造，然后进行低温退火处理；所述三次锻造的具体过程包括：沿着轴向对高纯钽进行多道次镦粗至原高度的12，随后再进行多道次拔长至原高度，所述镦粗和拔长的每道次均为小变形，道次变形量均为8%~10%；所述低温退火处理的温度为1020℃~1080℃，保温时间为1h； 步骤四、一次交叉轧制：将步骤三中低温退火处理后的高纯钽在轧机上进行一次交叉轧制，然后进行中温短时退火处理，得到中间靶坯；所述一次交叉轧制的具体工艺包括：每道次轧制完成后将高纯钽沿着法向顺时针旋转90˚进行下一道次轧制，每道次为较大变形，变形量为14%~16%，一次交叉轧制的总变形量为45%~50%；所述中温短时退火处理的温度为1120℃~1180℃，保温时间为20min~40min； 步骤五、中间靶坯切分：将步骤四中所述中间靶坯沿着厚度的12处进行线切割，将中间靶坯平均切分成两组； 步骤六、二次交叉轧制：将步骤五中切分后的中间靶坯进行二次交叉轧制，然后对中间靶坯进行低温长时退火处理，得到钽靶坯；所述二次交叉轧制的具体工艺包括：每道次轧制完成后将中间靶坯沿着法向顺时针旋转90˚进行下一道次轧制，每道次为小变形，变形量为8%~10%，二次交叉轧制的总变形量为50%~60%；所述低温长时退火处理的温度为1020℃~1080℃，保温时间为1.5h~2.5h。

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