南京苏曼等离子科技有限公司万良淏获国家专利权
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龙图腾网获悉南京苏曼等离子科技有限公司申请的专利一种转移式低温等离子体材料处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119560360B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411612854.5,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权一种转移式低温等离子体材料处理装置是由万良淏;徐龙;戴阳;万京林设计研发完成,并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种转移式低温等离子体材料处理装置在说明书摘要公布了:本发明提供转移式低温等离子体材料处理装置,包括等离子体发生装置、材料固定传送装置、气氛供应装置和水冷装置,等离子体发生装置包括间隔设置的第一高压电极管和第二高压电极管,两组高压电源为两高压电极管提供双极性高压电;材料固定传送装置与等离子体发生装置可相对移动,当电极板远离等离子体发生装置时双极性电极组件间产生低温等离子体,当电极板与等离子体发生装置上下分布时,低温等离子体从双极性电极组件之间向待处理材料表面转移,用于材料表面处理;水冷装置用于冷却电极管,气氛供应装置用于提供气氛以产生指向性自由基。本装置结构简单,等离子体产生与转移皆为均匀状态,处理过程中电源无需频繁启闭,处理温度低,实用性强。
本发明授权一种转移式低温等离子体材料处理装置在权利要求书中公布了:1.一种转移式低温等离子体材料处理装置,其特征在于, 包括等离子体发生装置和材料固定传送装置; 所述等离子体发生装置与双极性高压电源系统连接,包括双极性电极组件,所述双极性电极组件包括间隔设置的第一高压电极管1和第二高压电极管2,所述双极性高压电源系统的第一电源3和第二电源4分别与第一高压电极管1和第二高压电极管2连接,为双极性电极组件提供双极性高压电; 所述材料固定传送装置与等离子体发生装置能够相对移动,材料固定传送装置包括电极板,待处理材料负载在电极板朝向等离子体发生装置的一侧; 当电极板远离等离子体发生装置时,第一高压电极管1和第二高压电极管2之间产生低温等离子体,当电极板与等离子体发生装置上下分布时,低温等离子体从双极性电极组件之间向待处理材料表面转移,成为用于材料表面处理的等离子体; 所述第一高压电极管1和第二高压电极管2结构相同,均包括:陶瓷管11、金属电极12、两组内衬铝管13、两组密封垫14和两组压紧套15和两组密封堵头16;所述金属电极12设置在陶瓷管11内部,两组内衬铝管13对称固定在金属电极12两侧;所述密封垫14和压紧套15设置在内衬铝管13与陶瓷管11之间,且压紧套15分布在密封垫14外侧;所述两组密封堵头16分别插入第一高压电极管1第二高压电极管2的两端,与压紧套15压紧固定;所述内衬铝管13远离金属电极12的一端穿过密封堵头16与水管接头17固定连接;所述第一高压电极管1第二高压电极管2的高压端设置有高压接头18。
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