京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司陈爱国获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司申请的专利蒸镀装置和蒸镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119571261B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411678938.9，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸镀装置和蒸镀方法是由陈爱国;廖先江;崔家宾;张金中;刘佳宁设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀装置和蒸镀方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种蒸镀装置和蒸镀方法，该装置包括：坩埚、坩埚盖、M个坩埚喷嘴和导流装置，坩埚用于产生蒸镀气体，坩埚盖用于覆盖坩埚的顶部，M个坩埚喷嘴设置在坩埚盖上，用于使得蒸镀气体从坩埚中喷出，M为正整数；导流装置设置于坩埚中，导流装置包括：导流板和N个导流件，导流板上开设N个导流孔，N个导流件通过至少两个支撑件设置于导流板上，N个导流件用于吸附或反射穿过N个导流孔的蒸镀气体中的杂质颗粒，N为小于或等于M的正整数。该蒸镀装置能够有效阻挡杂质颗粒从坩埚喷嘴喷出，从而提高了蒸镀膜层的稳定性和均匀性，改善了显示面板的性能和良率。
本发明授权蒸镀装置和蒸镀方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述装置包括：坩埚、坩埚盖、M个坩埚喷嘴和导流装置，所述坩埚用于产生蒸镀气体，所述坩埚盖用于覆盖所述坩埚的顶部，所述M个坩埚喷嘴设置在所述坩埚盖上，用于使得所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出，M为正整数； 所述导流装置设置于所述坩埚中，所述导流装置包括：导流板和N个导流件，所述导流板上开设N个导流孔，所述N个导流件通过至少两个支撑件设置于所述导流板上，所述N个导流件用于吸附穿过所述N个导流孔的蒸镀气体中的杂质颗粒，N为小于或等于M的正整数； 所述N个导流件包括至少一个第一导流件，所述至少一个第一导流件为圆台形状，所述圆台包括底面、侧面和顶面，所述底面的面积小于所述顶面的面积； 所述底面通过所述至少两个支撑件设置于所述导流板上，所述圆台的母线与所述底面所在平面的夹角小于或等于45度。
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