先导薄膜材料(安徽)有限公司黄东长获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种高透磁率镍铂合金靶坯及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119951971B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510306691.6,技术领域涉及:B21J5/00;该发明授权一种高透磁率镍铂合金靶坯及其制备方法是由黄东长;刘文胜;朱源源;童培云;钟小华设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高透磁率镍铂合金靶坯及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于集成电路靶材制造领域,公开了一种高透磁率镍铂合金靶坯的制备方法,包括如下步骤:步骤1:将镍铂合金铸锭依次进行热锻、热处理、热轧和再结晶退火后,得到镍铂合金坯料;步骤2:对镍铂合金坯料进行冷轧,得到镍铂合金靶坯;冷轧包括至少三次;单次包括第一次轧制和第二次轧制;镍铂合金坯料在完成第一次轧制后,将镍铂合金坯料旋转40~50°,进行第二次轧制;每两次冷轧之间进行一次退火,且退火的温度以再结晶退火的温度为基准,逐次降低80~100℃。本申请通过对冷轧工序进行优化,镍铂合金坯料在完成第一次轧制后,将镍铂合金坯料旋转40~45°,再进行第二次轧制,配合逐次退火的温度控制,制备出来的镍铂合金靶坯的PTF>70%。本发明还公开了一种高透磁率镍铂合金靶坯。
本发明授权一种高透磁率镍铂合金靶坯及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高透磁率镍铂合金靶坯的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤1:将镍铂合金铸锭依次进行热锻、热处理、热轧和再结晶退火后,得到镍铂合金坯料; 步骤2:对镍铂合金坯料进行冷轧,得到镍铂合金靶坯; 所述冷轧包括至少三次;单次包括第一次轧制和第二次轧制; 镍铂合金坯料在完成第一次轧制后,将镍铂合金坯料旋转40~50°,进行第二次轧制;每两次冷轧之间进行一次退火,且退火的温度以再结晶退火的温度为基准,逐次降低80~100℃; 所述步骤1中,热轧的温度为850~950℃,单道次热轧变形率为10~15%,总的热轧变形率为75~85%,每3~4道次回炉一次,回炉的时间为10~15min; 所述第一次轧制和第二次轧制均采用横轧与纵轧按90度角顺时针交替轧制的方式; 所述第一次轧制和第二次轧制的道次变形率均为3.5~4.5%,单次冷轧的总变形率为28~36%。
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