江西汉可泛半导体技术有限公司黄海宾获国家专利权
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龙图腾网获悉江西汉可泛半导体技术有限公司申请的专利防绕镀和防污染的镀膜用载板结构、镀膜方法及电池片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120026310B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510071164.1，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权防绕镀和防污染的镀膜用载板结构、镀膜方法及电池片是由黄海宾;刘翠翠设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本防绕镀和防污染的镀膜用载板结构、镀膜方法及电池片在说明书摘要公布了：本发明涉及一种防绕镀和防污染的镀膜用载板结构，该载板结构设置在热丝化学气相沉积的工艺腔内，包括：输送载板，其上安装有硅片；间隔板，其定位在热丝与输送载板之间，间隔板的一侧朝向热丝，另一侧朝向输送载板承载硅片的一侧；其中，间隔板与输送载板之间设置有第一间距并且间隔板与热丝之间设置有第二间距。此外，本发明还涉及一种采用上述镀膜用载板结构的镀膜方法以及采用该镀膜方法镀膜的电池片。本发明能够在沉积薄膜时避免出现绕镀和污染问题，能够直接制备出无绕镀和无污染的高质量掺杂晶硅层。
本发明授权防绕镀和防污染的镀膜用载板结构、镀膜方法及电池片在权利要求书中公布了：1.一种防绕镀和防污染的镀膜用载板结构，其特征在于，所述载板结构设置在热丝化学气相沉积的工艺腔内，包括： 输送载板，所述输送载板上安装有硅片； 固定在热丝化学气相沉积工艺腔腔体内部的间隔板，所述间隔板定位在热丝与所述输送载板之间，所述间隔板的一侧朝向所述热丝，另一侧朝向所述输送载板承载所述硅片的一侧； 其中，所述间隔板与所述输送载板之间设置有第一间距D并且所述间隔板与所述热丝之间设置有第二间距d，其中0cm＜D≤20cm，5cm≤d≤20cm，且所述间隔板的尺寸大于所述输送载板的尺寸，以覆盖所述输送载板的投影区域。
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