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龙图腾网获悉易尔斯泰智能科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体离心清洗设备及清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120421268B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510904879.0，技术领域涉及：B08B3/10；该发明授权一种半导体离心清洗设备及清洗工艺是由张振南;曹春兰设计研发完成，并于2025-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体离心清洗设备及清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体清洗技术领域，具体涉及一种半导体离心清洗设备及清洗工艺，其中清洗工艺主要如下：置于载具中的半导体器件依次被转移至具有清洗液的清洗腔、具有漂洗液的第一漂洗腔、具有漂洗液的第二漂洗腔，以及干燥腔；在第一漂洗腔内，按序执行第一漂洗工序及第二脱水工序；在第二漂洗腔内，按序执行第二漂洗工序及第三脱水工序；其中，处在所述第一漂洗循环腔与第二漂洗循环腔内的漂洗液流经再生装置并循环往复流通。本申请通过设置两道漂洗工序，既能提升半导体器件的清洁效果，同时两个漂洗循环腔之间通过再生的方式提升整体废液的利用率，避免单一漂洗循环腔内长期使用导致杂质累积而降低清洁效率。

本发明授权一种半导体离心清洗设备及清洗工艺在权利要求书中公布了：1.一种半导体离心清洗工艺，其特征在于，所述清洗工艺如下：半导体器件采用单执行元件完成转移，并在清洗腔、第一漂洗腔、第二漂洗腔及干燥腔内具有相同的停留时间，且每个腔体内具有不同的工序开启时间； 置于载具中的半导体器件被转移至具有清洗液的清洗腔内，载具内的半导体器件之间具有若干水平向分布的流体间隙；所述清洗腔按序执行离心清洗工序及第一脱水工序； 半导体器件随载具被转移至具有漂洗液的第一漂洗腔内，按序执行第一漂洗工序及第二脱水工序，在第二脱水工序下，漂洗液流至第一漂洗循环腔内； 半导体器件随载具被转移至具有漂洗液的第二漂洗腔内，按序执行第二漂洗工序及第三脱水工序，在第三脱水工序下，漂洗液流至第二漂洗循环腔内； 半导体器件随载具被转移至干燥腔内，完成干燥工序； 其中，所述漂洗液具有低于半导体器件上被脱离杂质的沸点，处在所述第一漂洗循环腔与第二漂洗循环腔内的漂洗液流经再生装置并循环往复流通； 在所述第一漂洗腔与第二漂洗腔执行工序阶段，所述第三脱水工序具有早于第二脱水工序的开启时间，至此所述第二漂洗循环腔、第一漂洗循环腔及再生装置内的流体按序流通一个再生循环周期； 经由所述第一漂洗腔内排出至第一漂洗循环腔内的流体具有第一杂质浓度，经由所述第二漂洗腔内排出至第二漂洗循环腔内的流体具有第二杂质浓度，经由所述再生装置处理的流体具有第三杂质浓度；所述第一杂质浓度、第二杂质浓度、第三杂质浓度逐步降低； 在一个所述再生循环周期内，第三脱水工序从时间节点A开启，第二脱水工序从时间节点B开启，在时间节点A与时间节点B之间，需要先后完成第二杂质浓度的漂洗液排出至第一漂洗循环腔，以及再生装置内的再生液排出至第二漂洗循环腔，在时间节点B，至少具有第一杂质浓度的流体流至再生装置内。

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