河南省科学院化学研究所有限公司;河南省科学院;河南新国玺半导体材料有限公司;河南省科学院平顶山产业技术研究院陈世鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉河南省科学院化学研究所有限公司;河南省科学院;河南新国玺半导体材料有限公司;河南省科学院平顶山产业技术研究院申请的专利一种超高纯硫酸铜电镀液及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120738714B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510769821.X,技术领域涉及:C25D3/38;该发明授权一种超高纯硫酸铜电镀液及其制备方法和应用是由陈世鹏;张豫黎;高聪;陈煜宏;杨彦春;常林朝;王俊设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高纯硫酸铜电镀液及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于电镀技术技术领域,尤其涉及一种超高纯硫酸铜电镀液及其制备方法和应用,通过采用纯度≥99.9995%的超纯铜、超纯硫酸、超纯盐酸作为原料,采用自主设计的电解装置,经电解法可制备纯度≥99.9999%的酸性硫酸铜溶液。引入咪唑类离子液体同时作为加速剂和整平剂,与抑制剂聚乙二醇协同作用,通过小分子快速扩散与可控吸附‑还原机制,突破传统SPS‑PEG‑JGB‑Cl‑体系在超微孔填充中的扩散限制,可以实现均匀且充分的电镀。电镀得到的镀层没有出现孔隙孔洞,表面平整,结构致密性良好,表现出良好的晶圆铜互连应用效果。
本发明授权一种超高纯硫酸铜电镀液及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种适用于半导体集成电路铜互连的超高纯硫酸铜电镀液,其特征在于,包括超高纯酸性硫酸铜溶液和复合添加剂;所述超高纯酸性硫酸铜溶液包括硫酸铜、硫酸和氯离子,超高纯酸性硫酸铜溶液中总有机碳含量≤1ppm,金属杂质总含量<50ppb,产品中>0.2μm的颗粒物≤50个mL;所述复合添加剂为咪唑类离子液体和聚乙二醇;所述电镀液中咪唑类离子液体的添加量为4.5—40mgL,聚乙二醇的添加量为100—200mgL,所述咪唑类离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑二氰胺盐、1-丙基-3-甲基咪唑二氰胺盐、1-丁基-3-甲基咪唑二氰胺盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑氯盐、1-丙基磺酸-3-乙基咪唑氯盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑氯盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑氯盐中的一种,纯度均在99.9%以上;聚乙二醇为聚乙二醇2000、聚乙二醇4000、聚乙二醇8000中的一种,纯度均在99.9%以上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南省科学院化学研究所有限公司;河南省科学院;河南新国玺半导体材料有限公司;河南省科学院平顶山产业技术研究院,其通讯地址为:450002 河南省郑州市金水区红专路56号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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