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龙图腾网获悉北京奥普托科微电子技术有限公司申请的专利晶圆扫描图像获取方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120741498B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510759644.7，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶圆扫描图像获取方法及系统是由蒋健君;李星辰;方春钰;李锦程设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆扫描图像获取方法及系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆扫描图像获取方法及系统，涉及半导体图像采集领域。该方法包括：将多束互相平行的照明光束照射至目标晶圆，在目标晶圆的表面形成多个线状光斑；在控制目标晶圆移动的过程中，利用多个线阵扫描成像设备对多个线状光斑进行同步成像采集，得到目标晶圆的多个扫描图像，一个线阵扫描成像设备对应一个线状光斑；用于对多个扫描图像进行融合处理，得到融合扫描图像；基于融合扫描图像中的像素值特征，从融合扫描图像中筛选剔除散斑像素，得到目标图像。本申请，不仅提升了图像信噪比和成像清晰度，还兼顾了图像采集稳定性，能够实现更高精度、更高效率且更具鲁棒性的晶圆图像获取。

本发明授权晶圆扫描图像获取方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆扫描图像获取方法，其特征在于，包括： 将多束互相平行的照明光束照射至目标晶圆，在所述目标晶圆的表面形成多个线状光斑； 在控制所述目标晶圆移动的过程中，利用多个线阵扫描成像设备对所述多个线状光斑进行同步成像采集，得到所述目标晶圆的多个扫描图像，一个线阵扫描成像设备对应一个线状光斑； 对所述多个扫描图像进行融合处理，得到融合扫描图像； 基于所述融合扫描图像中的像素值特征，从所述融合扫描图像中筛选剔除散斑像素，得到目标图像； 所述利用多个线阵扫描成像设备对所述多个线状光斑进行同步成像采集，包括： 利用至少两个分光器件组成的两重分光结构，对所述多个线状光斑所产生的反射光进行空间分束，以将多束反射光分别引导至对应的线阵扫描成像设备进行成像采集； 所述利用多个线阵扫描成像设备对所述多个线状光斑进行同步成像采集，得到所述目标晶圆的多个扫描图像，包括： 获取所述目标晶圆在移动过程中的位置信息，将所述位置信息同步发送给所述多个线阵扫描成像设备； 利用所述多个线阵扫描成像设备，根据所述位置信息，同步采集所述多个线状光斑对应的反射图像，得到所述多个扫描图像，所述多个扫描图像为所述目标晶圆上相同区域且不同照明通道的反射响应对应的时空对齐的多个图像。

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