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龙图腾网获悉恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司申请的专利一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120746996B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510858612.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法，涉及芯片技术领域，该方法利用多个相机搭建得到的相机阵列在每个扫描位置处获取多个靶面图像，各个预扫相机的采集帧率均达到帧率阈值从而保证快速移动扫描需求，再结合图像拼接技术得到扫描位置处的更大画幅的全局扫描图像，从而能够使得在每幅全局扫描图像兼具采集速度、图像质量和画幅尺寸，靶面图像的相对位置固定从而使得可以直接利用图像拼接技术对不同预扫相机的靶面图像交叠部分进行像素级的图像融合避免对交叠区域内的芯片额外执行去重操作，而较大的单次全局扫描范围有利于减少对晶圆完成全域预扫描所需的移动扫描次数，因此整体上提升了晶圆预扫描速度。

本发明授权一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法在权利要求书中公布了：1.一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法，其特征在于，所述晶圆预扫描方法包括： 控制马达带动晶圆水平移动使得相机阵列依次移动到晶圆上的各个扫描位置处，在相机阵列位于每个扫描位置处时同步触发相机阵列中各个预扫相机获取各自靶面范围内的靶面图像；所述相机阵列包括按照预定结构排布在一起的多个预扫相机，各个预扫相机的采集帧率均达到帧率阈值，所有预扫相机的靶面范围覆盖的连续区域范围构成相机阵列的全局扫描范围，马达在各个扫描位置之间的移动步幅根据相机阵列的全局扫描范围来确定，且相机阵列的全局扫描范围在相邻扫描位置处存在交叠； 对每个扫描位置处通过相机阵列中各个预扫相机获取到的靶面图像进行图像拼接得到当前扫描位置处的全局扫描图像； 初始化晶圆预扫描结果为空，依次遍历各个扫描位置处的全局扫描图像进行数据处理，对于当前处理的第i幅全局扫描图像，利用图像处理技术确定第i幅全局扫描图像中各颗芯片的机械坐标和全局行列坐标；其中，第i幅全局扫描图像是第i个扫描位置处的全局扫描图像；当i=1时，将第i幅全局扫描图像中各颗芯片的芯片信息添加到晶圆预扫描结果中并依次处理下一幅全局扫描图像；每颗芯片的芯片信息包括机械坐标和全局行列坐标，每颗芯片的芯片信息还包括类型标志位，每颗芯片的类型标志位为第一标志位或第二标志位，第一标志位指示芯片是所属全局扫描图像中的外围芯片，第二标志位指示芯片是所属全局扫描图像中的内部芯片； 当i≥2时，根据第i幅全局扫描图像中各颗芯片的全局行列坐标，筛选出第i幅全局扫描图像中位于图像边界区域内的多颗芯片作为外围芯片，将其他位于图像中间区域的芯片作为内部芯片；从所述晶圆预扫描结果中筛选出待比对列表，所述待比对列表中包括所述晶圆预扫描结果中具有第一标志位的多颗芯片的芯片信息，对于第i幅全局扫描图像中的外围芯片j，依次遍历所述待比对列表中的各颗芯片的芯片信息，并根据当前遍历到的芯片k的全局行列坐标和外围芯片j的全局行列坐标检测外围芯片j与芯片k是否属于同一颗芯片，当确定外围芯片j与芯片k属于同一颗芯片时，利用外围芯片j的芯片信息更新芯片k的芯片信息，否则继续遍历下一颗芯片，当遍历完所述待比对列表并确定待比对列表中不存在芯片与外围芯片j属于同一颗芯片时，将外围芯片j的芯片信息添加到晶圆预扫描结果中；将第i幅全局扫描图像中内部芯片的芯片信息直接添加到晶圆预扫描结果中，并依次处理下一幅全局扫描图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市梁溪区金山北科技产业园C1-8；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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