京华芯盛(北京)半导体科技有限公司王策获国家专利权
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龙图腾网获悉京华芯盛(北京)半导体科技有限公司申请的专利MEMS加速度计离心测试结构、系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120908483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511433162.9,技术领域涉及:G01P21/00;该发明授权MEMS加速度计离心测试结构、系统及方法是由王策;雷龙海;王光运;金小锋;王辉设计研发完成,并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS加速度计离心测试结构、系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了MEMS加速度计离心测试结构、系统及方法,该结构包括离心转接工装、离心测试工装转台、测试转接工装、芯片测试板及多个夹具机构;该系统包括离心机转台和八个上述的MEMS加速度计离心测试结构;该方法适用于上述的MEMS加速度计离心测试系统中,实现加速度计芯片的测试及满量程标定,得到零偏、非线性度的指标,及对加速度计芯片交叉轴串扰评估;通过测试工装转台免拆卸实现加速度计满量程的正反向测试;十字形测试板配X、Y向夹具,可测X、Y、X‑Y双轴加速度计并评估交叉轴串扰,通用性强;夹具集成于电路板,防线缆损坏更安全;结构集成适配批量生产,夹具易安装且兼容多管壳尺寸,进一步提高试验效率。
本发明授权MEMS加速度计离心测试结构、系统及方法在权利要求书中公布了:1.MEMS加速度计离心测试结构,其特征在于,该结构包括: 离心转接工装1,其用于为该工装提供安装载体且使该工装安装在离心机上; 离心测试工装转台2,其通过固定件安装在离心转接工装1上,且其的圆心与离心转接工装1的圆心同心; 测试转接工装3:所述测试转接工装3为形状为类十字形,所述测试转接工装3的四角处通过锁紧件固定安装在离心测试工装转台2上; 芯片测试板4;所述芯片测试板4通过锁紧件固定安装在测试转接工装3上,所述芯片测试板4的形状为十字形,定义芯片测试板4的横轴为X轴,芯片测试板4的竖轴为Y轴;所述芯片测试板4用于收集和传输测试时加速度计的数据; 多个夹具机构5,其用于将加速度计夹持在该结构上;多个所述夹具机构5沿芯片测试板4的X轴和Y轴均匀固定安装在芯片测试板4的表面上。
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