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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种分频控制的射频电源固态阻抗匹配器及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121000193B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511089458.3，技术领域涉及：H03H11/28；该发明授权一种分频控制的射频电源固态阻抗匹配器及其方法是由葛飞;张桂东;吴理豪;马文杰设计研发完成，并于2025-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种分频控制的射频电源固态阻抗匹配器及其方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种分频控制的射频电源固态阻抗匹配器及其方法，旨在解决传统机械式阻抗匹配器响应慢、调节精度低、难以适应动态负载的问题。该系统采用全固态阻抗匹配器，由可调电感模块与开关电容模块组成的匹配网络实现阻抗动态调节，结合射频信号检测模块与数字信号处理器构建闭环控制，采用分频控制策略：低频段以可调电感模块为主进行粗调；高频段以可调电感模块粗调和开关电容模块细调的控制策略，实现高精度匹配。装置具有响应速度快、宽频段覆盖等优势，尤其适用于动态阻抗特性显著的工业等离子体应用场景。

本发明授权一种分频控制的射频电源固态阻抗匹配器及其方法在权利要求书中公布了：1.一种分频控制的射频电源固态阻抗匹配器，其特征在于，包括：射频电源、功率控制单元、通信接口模块、数字信号处理器、匹配控制模块、匹配网络、开关电容控制器和可调电感控制器、等离子体负载、射频信号检测模块； 所述射频电源产生高频交流信号，为匹配系统提供固定输出阻抗的射频功率源； 所述功率控制单元动态调节射频电源的输出功率，根据负载状态与匹配网络调节结果对输出功率进行实时调整； 所述通信接口模块实现射频电源与数字信号处理器之间的指令与状态传输； 所述数字信号处理器接收射频信号检测模块的反馈数据，执行阻抗匹配算法并输出控制指令； 所述匹配控制模块根据数字信号处理器的控制指令，分别控制可调电感控制器和开关电容控制器，实现匹配网络中阻抗的动态调节； 所述匹配网络位于射频电源与等离子体负载之间，包括可调电感模块和开关电容模块，实现系统的阻抗变换； 所述可调电感控制器用于驱动可调电感，开关电容控制器用于驱动开关电容阵列，分别实现电感、电容参数的动态可调； 所述等离子体负载通过实时阻抗匹配保证射频功率稳定输出； 所述射频信号检测模块实时采集正向功率、反射功率、电压、电流和相位信息，并将检测结果反馈至数字信号处理器； 所述匹配控制模块通过射频信号检测模块采集的频率数据，将工作频率划分为低频段和高频段，根据频段识别结果，进行匹配网络的切换，包括： 在低频段，匹配控制模块采用有源磁控电感，结合模糊PID控制算法对偏置电流源调节，控制磁导率，实现阻抗网络粗匹配； 在高频段，匹配控制模块采用电感粗调和电容细调的控制策略：粗调通过有源磁控电感实现阻抗初步定位，细调由开关电容模块实现，结合查表算法与快速切换机制，实现阻抗网络精确匹配。

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