清华大学张力飞获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121018330B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511553156.7，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;路新春;张丛;姬明设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆减薄设备和减薄方法，方法包括：利用纹影法获取晶圆减薄过程中冷却液弓形波的实际特征参数；基于所述实际特征参数和正常工况下的基准特征参数，得到砂轮的散热性指数和磨损指数；基于所述散热性指数和所述磨损指数，以实时控制晶圆减薄工艺的调整。本申请提供的晶圆减薄设备和减薄方法，利用纹影法对冷却液弓形波进行检测，能够间接实时地获取砂轮的散热与磨损信息，从而可以实时评估砂轮的健康状况以及实时地调整晶圆减薄工艺，确保晶圆加工过程的稳定性，提高了晶圆加工效率。
本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄方法，其特征在于，所述方法包括： 利用纹影法获取晶圆减薄过程中冷却液弓形波的实际特征参数； 基于所述实际特征参数和正常工况下的基准特征参数，得到砂轮的散热性指数和磨损指数； 基于所述散热性指数和所述磨损指数，以实时控制晶圆减薄工艺的调整； 所述实际特征参数及所述基准特征参数包括：波峰夹角、波幅和波前曲率，所述基于所述实际特征参数和正常工况下的基准特征参数，得到砂轮的散热性指数和磨损指数，包括： 基于所述基准特征参数与所述实际特征参数中的波峰夹角及波幅，并通过温度补偿因子和或时间衰减因子进行修整，以得到所述砂轮的散热性指数； 基于所述基准特征参数和所述实际特征参数中的波峰夹角和波前曲率，得到所述砂轮的磨损指数。
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