东虹芯光(上海)高科技有限公司田海波获国家专利权
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龙图腾网获悉东虹芯光(上海)高科技有限公司申请的专利基于MOEMS扫描光栅的高灵敏度拉曼检测方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121027071B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511293328.1,技术领域涉及:G01N21/65;该发明授权基于MOEMS扫描光栅的高灵敏度拉曼检测方法及装置是由田海波;汪洋设计研发完成,并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于MOEMS扫描光栅的高灵敏度拉曼检测方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开了基于MOEMS扫描光栅的高灵敏度拉曼检测方法及装置,属于光学检测技术领域,其技术方案要点是包括,连续激光光源,用于发射连续激光;斩光器,用于对连续激光进行脉冲调制,并将调制后的脉冲激光束入射至分光片或硅光二极管;光谱仪,用于对脉冲拉曼散射光信号进行分光,得到被测信号,并将被测信号输入至锁相放大器,光谱仪包括MOEMS扫描光栅结构;锁相放大器,用于根据被测信号得到脉冲拉曼散射光信号的幅值,本发明通过双圈斩光器调制连续激光,利用斩光器的物理结构得到90°相位差的两个参考信号,并采用MOEMS扫描光栅分光技术,结合双路锁相放大技术进行矢量运算,提取真实信号幅值,消除相位漂移的影响。
本发明授权基于MOEMS扫描光栅的高灵敏度拉曼检测方法及装置在权利要求书中公布了:1.基于MOEMS扫描光栅的高灵敏度拉曼检测装置,其特征在于,包括: 连续激光光源,用于发射连续激光; 斩光器,用于对所述连续激光进行脉冲调制,并将调制后的脉冲激光束入射至分光片、硅光二极管;所述硅光二极管包括第一硅光二极管和第二硅光二极管,所述第一硅光二极管用于接收所述斩光器输出的第二脉冲激光束,得到90°参考信号,所述第二硅光二极管用于接收所述斩光器输出的第三脉冲激光束,得到0°参考信号; 光谱仪,用于对脉冲拉曼散射光信号进行分光,得到被测信号,并将所述被测信号输入至锁相放大器,所述光谱仪包括MOEMS扫描光栅结构; 锁相放大器,用于根据所述被测信号得到脉冲拉曼散射光信号的幅值; 其中,所述斩光器包括外圈透光孔、内圈透光孔和电机轴孔,所述内圈透光孔的边沿在所述外圈透光孔的中心处; 其中,所述锁相放大器包括: 前置放大器,用于接收并放大所述被测信号; 带通滤波器,用于将放大后的被测信号进行滤波处理,得到脉冲拉曼散射光信号中的有效成分,并将所述有效成分输入至正弦乘法器和余弦乘法器; 整形电路,用于接收和修正所述90°参考信号和所述0°参考信号; 乘法器,用于根据修正后的90°参考信号、修正后的0°参考信号和所述有效成分进行乘法运算,得到所述脉冲拉曼散射光信号的同向分量和正交分量;所述乘法器包括正弦乘法器和余弦乘法器; 低通滤波器积分器,用于对所述同向分量和正交分量进行积分处理; 矢量运算模块,用于对进行积分处理后的同向分量和正交分量进行矢量运算,得到所述被测信号的幅值。
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