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广东慧普光学科技有限公司苏海龙获国家专利权

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龙图腾网获悉广东慧普光学科技有限公司申请的专利基于参数化计算的显微视觉检测激光线长调控系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121091507B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511278182.3,技术领域涉及:G02B27/00;该发明授权基于参数化计算的显微视觉检测激光线长调控系统及方法是由苏海龙设计研发完成,并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

基于参数化计算的显微视觉检测激光线长调控系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及基于参数化计算的显微视觉检测激光线长调控的方法,属于光学显微检测技术领域,包括:输入目标激光线长Llim;参数解算;调节柱面镜、凸透镜、物镜的位置或参数,匹配解算结果;光路传输:光源发射准直激光,依次通过柱面镜Y方向聚焦、凸透镜X方向发散角调控、物镜样品表面聚焦;实时检测:CMOS传感器检测实际生成的激光线长度及光斑形态;误差判断:判断实际线长是否满足目标线长误差范围<2%:如果是,输出最终参数组合及光路配置,流程结束;如果不是,反馈至参数计算模块,动态微调参数,并重新调节光学元件。本发明可以提升半导体缺陷检测、生物显微成像等场景的激光线长的精确度。

本发明授权基于参数化计算的显微视觉检测激光线长调控系统及方法在权利要求书中公布了:1.基于参数化计算的显微视觉检测激光线长调控方法,其特征在于,其方法应用的系统包括依次设置的激光光源,柱面镜、凸透镜、物镜以及CMOS传感器;其方法包括如下步骤: S1、输入目标激光线长Lline S2、参数解算,根据公式化模型,解算准直激光直径D、柱面镜焦距fcyl、凸透镜焦距fconv、凸透镜到物镜距离d、物镜焦距fobj的可行组合; S3、调节柱面镜、凸透镜、物镜的位置或参数,匹配解算结果; S4、光路传输:光源发射准直激光,依次通过柱面镜聚焦、凸透镜在垂直于柱面镜聚焦方向进行发散角调控、物镜在样品表面聚焦; S5、实时检测:CMOS传感器检测实际生成的激光线长度及光斑形态; S6、误差判断:判断实际线长是否满足目标线长小于2%的误差范围: 如果是,输出最终参数组合及光路配置,流程结束; 如果不是,反馈至参数计算模块,动态微调参数,并重新调节光学元件; 步骤2中所述公式为 其中,D为准直激光直径,fobj为物镜焦距,fconv为凸透镜焦距,d为凸透镜到物镜距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东慧普光学科技有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市南城街道新基路5号6栋113室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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