北京大学彭海琳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种晶圆级超平整洁净石墨烯电镜载网及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121134754B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511696075.2,技术领域涉及:C01B32/184;该发明授权一种晶圆级超平整洁净石墨烯电镜载网及其制备方法与应用是由彭海琳;郭奕婕;郑黎明;赵效乐设计研发完成,并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆级超平整洁净石墨烯电镜载网及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆级超平整洁净石墨烯电镜载网及其制备方法与应用。本发明方法包括如下步骤:将目标透射电镜载网放置于硬质生长基底上的二维材料表面;将可发生分子自组装的物质溶于低表面张力有机溶剂配制成贴合液的贴合液滴加于上述结构表面,待溶液挥发后实现常温下的紧密贴合;刻蚀去除硬质生长基底;最后经去离子水和异丙醇清洗即得。本发明利用分子自组装作用和低表面张力溶剂的特性,实现了无胶、常温转移,避免了聚合物残留,确保了石墨烯表面的超平整性与高洁净度;本发明方法具有普适性强、工艺简单、良品率高的优点,特别适用于4英寸晶圆的批量化生产。
本发明授权一种晶圆级超平整洁净石墨烯电镜载网及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种晶圆石墨烯转移到多孔电镜载网的方法,包括以下步骤: S1、将目标透射电镜载网硬质基底平整放置于硬质生长基底上的二维材料表面; S2、将贴合液滴加至S1得到的放置有所述目标透射电镜载网硬质基底的所述二维材料上,待溶液挥发后,实现常温贴合; 所述贴合液由可发生分子自组装的物质溶于低表面张力有机溶剂中得到; 所述可发生分子自组装的物质为廿四烷酸; 所述低表面张力有机溶剂为丙酮、乙醇和异丙醇中的一种; S3、刻蚀去除所述硬质生长基底表面的金属层,分离得到二维材料电镜载网; S4、将所述二维材料电镜载网依次在去离子水和异丙醇中进行清洗,干燥后即得到超平整二维材料电镜载网。
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