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龙图腾网获悉珠海市申科谱工业科技有限公司申请的专利一种晶圆环顶升锁止机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121358235B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511883229.9，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆环顶升锁止机构是由杨小龙;李峰;粟勇;杜政卿;钟函君;冯睿璇;毛明春;张振富;孙泳;宋斌杰设计研发完成，并于2025-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆环顶升锁止机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆环顶升锁止机构，旨在提供一种结构简单，在集成电路制造过程中通过多组摆臂同步对晶圆环底部进行承托能有效避免侧向夹紧导致的变形问题，且通过多组联动定位装置提高锁附精度的晶圆环顶升锁止机构。本发明包括锁止组件、调节组件以及顶升组件，锁止组件包括旋转平台、两组盖板、转动模组以及若干组锁止模块，转动模组与调节组件活动端相连接，旋转平台与转动模组转动配合，两组盖板设置在旋转平台上端面两侧，若干组锁止模块阵列设置在旋转平台上并驱动晶圆环固定端与两组盖板相配合，顶升组件设置在锁止组件下端并通过旋转平台中部的避让口与旋转平台上端面的晶圆环托盘端相配合。本发明应用于产品定位的技术领域。

本发明授权一种晶圆环顶升锁止机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆环顶升锁止机构，包括锁止组件1、调节组件2以及顶升组件3，其特征在于：所述锁止组件1包括旋转平台4、两组盖板5、转动模组6以及若干组锁止模块7，所述转动模组6与所述调节组件2活动端相连接，所述旋转平台4与所述转动模组6转动配合，两组所述盖板5设置在所述旋转平台4上端面两侧，若干组所述锁止模块7阵列设置在所述旋转平台4上并驱动晶圆环8固定端与两组所述盖板5相配合，所述顶升组件3设置在所述锁止组件1下端并通过所述旋转平台4中部的避让口9与所述旋转平台4上端面的所述晶圆环8托盘端相配合； 所述转动模组6包括转动底板61、转动电机62、转动底座63以及转动环64，所述转动底板61与所述调节组件2活动端相连接，所述转动底座63设置在所述转动底板61中部，所述转动电机62设置在所述转动底板61一侧并通过传动带65与所述转动环64转动配合，所述旋转平台4与所述转动环64上端面相连接； 所述锁止模块7包括侧推气缸71、侧推块72、锁止底板73、锁止推板74、锁止滑轨75以及摆臂顶升板76，若干组所述侧推气缸71阵列设置在所述转动底板61上端面，若干组所述锁止底板73阵列设置在所述旋转平台4上端靠近所述避让口9的安装槽10内，所述锁止推板74通过所述锁止滑轨75与所述锁止底板73滑动配合，所述摆臂顶升板76铰接端与所述锁止底板73靠近所述侧推气缸71一端相铰接，所述摆臂顶升板76顶升端下端设置有滚动轮77，所述锁止推板74一端与所述侧推块72活动端相配合，所述锁止推板74另一端上端设置有顶升斜坡78，所述顶升斜坡78与所述滚动轮77相配合。

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