买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请的专利一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121394279B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511947436.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统，涉及磁场极性监测技术领域，用于监测磁场极性是否成功切换，磁场极性监测系统包括控制器、线圈和恒流源设备，控制器被配置为向电源输出电路发送磁场极性切换指令；电源输出电路被配置为向线圈输出目标驱动信号；线圈被配置为响应于目标驱动信号，在刻蚀腔内切换磁场极性；极性监测电路被配置为监测电源输出电路输出的目标驱动信号，并根据目标驱动信号和磁场极性切换指令向控制器反馈磁场极性切换结果。本申请通过增加极性监测电路，可以实现恒流源设备输出磁场极性的主动监测，提高了恒流源设备输出的精确度，提高了线圈的工作效率，也提高了恒流源设备和线圈运行的安全性。

本发明授权一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统，所述等离子刻蚀机包括刻蚀腔，其特征在于，所述磁场极性监测系统包括：控制器、线圈和恒流源设备，所述恒流源设备包括电源输出电路和极性监测电路；所述控制器、所述电源输出电路和所述极性监测电路之间互相电连接，所述电源输出电路与所述线圈电连接； 所述控制器，被配置为向所述电源输出电路发送磁场极性切换指令； 所述电源输出电路，被配置为按照所述磁场极性切换指令向所述线圈输出目标驱动信号； 所述线圈，设置于所述刻蚀腔的外侧，与所述电源输出电路电连接，被配置为响应于所述目标驱动信号，在所述刻蚀腔内切换磁场极性； 所述极性监测电路，被配置为监测所述电源输出电路输出的目标驱动信号； 所述极性监测电路还被配置为根据所述目标驱动信号和所述磁场极性切换指令向所述控制器反馈磁场极性切换结果； 其中，所述电源输出电路包括： 极性切换模块、电源输出模块和继电器驱动模块，所述极性切换模块分别与所述电源输出模块和所述继电器驱动模块电连接，所述继电器驱动模块与所述控制器电连接，所述极性切换模块与所述线圈电连接； 所述继电器驱动模块，被配置为根据从所述控制器接收的所述磁场极性切换指令生成继电器驱动信号，并发送至所述极性切换模块； 所述极性切换模块，被配置为根据所述继电器驱动信号进行供电线路切换； 所述电源输出模块，被配置为基于切换后的供电线路向所述线圈输出目标驱动信号； 所述极性监测电路与所述电源输出电路的两个输出端口连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市华芯半导体装备技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区泰然五路12号天安数码城天祥大厦六层6D；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。