买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利光电探测装置及单色激光干涉终点检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121430810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512035149.4，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权光电探测装置及单色激光干涉终点检测系统是由任聪群;丁亮亮设计研发完成，并于2025-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本光电探测装置及单色激光干涉终点检测系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光电探测装置及单色激光干涉终点检测系统。该光电探测装置包括：光电探测单元、第一驱动单元、第一处理单元、第一阻抗单元、第二阻抗单元和偏压控制单元；其中，光电探测单元将入射光信号转换为光电流信号，第一驱动单元将光电流信号转换为第一电压信号，在第一电压信号位于较小的第一功率范围内时，将第一驱动单元连接至第一阻抗单元中第一档位；在第一电压信号位于较大的第二功率范围内时，将第一驱动单元连接至第二阻抗单元中第二档位；偏压控制单元用于在连接至第二档位时，向光电探测单元施加一反向偏置电压。本申请可以适应于大动态范围光功率检测，且光功率较大的情况下，光电探测装置可保证呈线性输出。

本发明授权光电探测装置及单色激光干涉终点检测系统在权利要求书中公布了：1.一种光电探测装置，适用于单色激光干涉终点检测系统，接收从晶圆表面反射回来的干涉光信号，其特征在于，所述光电探测装置包括： 光电探测单元，用于将入射光信号转换为光电流信号； 第一驱动单元，用于将光电流信号转换为对应的第一电压信号； 第一处理单元，用于实时检测所述第一电压信号的大小，并根据检测结果输出档位切换信号； 第一阻抗单元，包括阻值不同的多个第一档位； 第二阻抗单元，包括至少一个第二档位，第二档位的阻值为固定值； 其中，在所述第一电压信号位于第一功率范围内时，所述档位切换信号用于将所述第一驱动单元连接至对应的第一档位；在所述第一电压信号位于第二功率范围内时，所述档位切换信号用于将所述第一驱动单元连接至第二档位；所述第一功率范围小于所述第二功率范围； 偏压控制单元，分别与所述第二阻抗单元和所述光电探测单元连接，用于在所述第一驱动单元连接至第二档位的同时，使得偏压控制单元向所述光电探测单元施加一反向偏置电压，以扩展所述光电探测单元的线性响应范围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海车仪田科技有限公司，其通讯地址为：201114 上海市闵行区新骏环路138号2幢102、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。