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龙图腾网获悉北京科翰龙半导体装备科技有限公司申请的专利一种晶圆定位夹持的同心度夹持装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121443020B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511614716.5，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种晶圆定位夹持的同心度夹持装置及方法是由王向阳设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆定位夹持的同心度夹持装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆定位夹持的同心度夹持装置及方法，包括至少三组夹持单元；夹持单元包括驱动模块、传动模块和传感模块；驱动模块包括气缸和用于驱动气缸的独立气路；传动模块包括与气缸活塞杆连接的多连杆机构，此连杆机构的活动端设置有用于接触晶圆边缘的夹持柱；传感模块包括位置传感器和薄膜压力传感器。本发明通过为每个夹持单元配置独立的电磁阀与气路，并引入位置传感器的闭环反馈，完成了对多个夹持柱运动轨迹的精确同步控制；并通过在夹持柱受力点设置薄膜压力传感器，并结合控制系统的自适应力控模块，而达到了使夹持力始终稳定在预设安全范围内的技术效果。

本发明授权一种晶圆定位夹持的同心度夹持装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位夹持的同心度夹持装置，安装于晶圆台上，其特征在于：包括气体流动套、气体分配环以及环绕于气体分配环外部的至少三组夹持单元；所述夹持单元包括驱动模块、传动模块和传感模块； 所述驱动模块包括气缸和用于驱动气缸的独立气路，此独立气路上设置有独立控制的电磁阀； 所述传动模块包括与气缸活塞杆连接的多连杆机构，此连杆机构的活动端设置有用于接触晶圆边缘的夹持柱； 所述传感模块包括用于检测气缸活塞杆位移的位置传感器和用于检测夹持柱对晶圆施加的夹持力的薄膜压力传感器； 该夹持装置还包括控制系统，其信号输入端与位置传感器和薄膜压力传感器连接，信号输出端与若干电磁阀连接；此控制系统被配置为：接收来自位置传感器和薄膜压力传感器的反馈信号，并独立控制每个电磁阀，若干所述夹持柱则同步运动至预设位置并对晶圆施加预设的夹持力； 所述控制系统包括同步控制模块，所述同步控制模块被配置为：比较各位置传感器的反馈值，通过控制算法动态调整各电磁阀的控制信号，使所有夹持柱的位移轨迹保持一致； 所述控制系统包括自适应力控模块，所述自适应力控模块被配置为：根据薄膜压力传感器的反馈值实时调整电磁阀的开度或通断频率，使夹持力稳定在预设目标值； 所述预设目标值可根据输入的晶圆规格信息进行调取和设定。

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