Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
商城订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励

投诉建议

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
专利交易 商标交易 积分商城 国际服务 IP管家助手 科技果 科技人才 会员权益 需求市场 关于龙图腾 更多
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 天津中科晶禾电子科技有限责任公司李云峰获国家专利权

天津中科晶禾电子科技有限责任公司李云峰获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利晶圆对准装置及对准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121510919B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610043808.0,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权晶圆对准装置及对准方法是由李云峰;高智伟;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成,并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆对准装置及对准方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体材料键合技术领域,公开了一种晶圆对准装置及对准方法。晶圆对准装置包括底座、载台组件、第一视觉机构、第二视觉机构和控制系统;载台组件安装于底座,载台组件包括支撑座和安装于支撑座的上载台和下载台,上载台用于承托上晶圆,下载台用于承托下晶圆;第一视觉机构安装于底座且与载台组件对应设置;第二视觉机构安装于底座且与载台组件对应设置;第一视觉机构和第二视觉机构均与控制系统通讯连接,控制系统用于获取上晶圆和或下晶圆的近红外光穿透率并使第一视觉机构或第二视觉机构将上晶圆和下晶圆对准。对准方法应用于上述晶圆对准装置。本发明的晶圆对准装置满足不同透光率材料的晶圆对准需求,且对准效率较高。

本发明授权晶圆对准装置及对准方法在权利要求书中公布了:1.晶圆对准装置,其特征在于,包括: 底座100; 载台组件,安装于所述底座100,所述载台组件包括支撑座210和安装于所述支撑座210的上载台220和下载台230,所述上载台220用于承托上晶圆,所述下载台230用于承托下晶圆; 第一视觉机构,安装于所述底座100且与所述载台组件对应设置; 第二视觉机构,安装于所述底座100且与所述载台组件对应设置,所述第二视觉机构间隔设于所述第一视觉机构的一侧; 控制系统,所述第一视觉机构和所述第二视觉机构均与所述控制系统通讯连接,所述控制系统用于获取所述上晶圆和或所述下晶圆的近红外光穿透率并使所述第一视觉机构或所述第二视觉机构将所述上晶圆和所述下晶圆对准;其中, 所述第一视觉机构包括两个第一视觉系统,两个所述第一视觉系统对称设置于所述载台组件两侧,所述第一视觉系统包括两个相机311;所述第二视觉机构包括两个第二视觉系统410,两个所述第二视觉系统410对称设置于所述载台组件两侧,所述第二视觉系统410为近红外视觉系统; 所述近红外光穿透率为零时,所述控制系统使所述第一视觉机构将所述上晶圆和所述下晶圆对准; 所述近红外光穿透率为一时,所述控制系统使所述第二视觉机构将所述上晶圆和所述下晶圆对准。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司,其通讯地址为:300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。