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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121558257B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610098473.2，技术领域涉及：G01M3/04；该发明授权一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统是由张南南;张黎明;张计杨;云燕午设计研发完成，并于2026-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统，漏率检测方法包括以下步骤，采集半导体腔室内的氧气浓度信号、压力信号以及各真空阀的阀位状态信号；对多个信号进行时间对齐，形成同一基准下的多参数数据帧；设定基准模板；将多参数数据帧与基准模板进行比较，判断是否发生泄漏；当判断为发生泄漏时，根据多参数数据帧获取氧浓度增量Δc、半导体腔室的容积V以及绝对压力P，并计算标准化漏率值Q。漏率检测系统包括，传感模块；处理模块，与传感模块电连接，用于接收传感模块的信号，并对信号进行分析，以判断半导体腔室是否泄漏，并计算标准化漏率值Q。本发明能够在不停机前提下对半导体腔室的泄漏情况进行检测。

本发明授权一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体腔室的漏率检测方法，其特征在于，包括以下步骤， 采集半导体腔室内的氧气浓度信号、压力信号以及各真空阀的阀位状态信号； 对多个信号进行时间对齐，形成同一基准下的多参数数据帧； 获取所述半导体腔室的设定漏率； 根据所述设定漏率获取所述氧气浓度信号的斜率的下限值； 按设定的采样时长对所述氧气浓度信号、所述压力信号以及所述阀位状态信号进行分段，获取各段中所述氧气浓度信号的斜率、所述压力信号的变化率及所述阀位状态信号；将采样结束时的压力信号与采样开始时的压力信号进行差值计算，并除以采样时长，得到所述压力信号的变化率； 将每段中的所述氧气浓度信号的斜率、所述压力信号的变化率及所述阀位状态信号进行统计，获取泄漏检出率最大且误报最小的正常波动阈值区间和泄漏阈值区间； 将所述氧气浓度信号的斜率的下限值与所述泄漏阈值区间进行比对，调节所述泄漏阈值区间的上限值与下限值，获取标准泄漏阈值区间； 将标准泄漏阈值区间和所述正常波动阈值区间作为所述基准模板； 将所述多参数数据帧与所述基准模板进行比较，判断是否发生泄漏； 当判断为发生泄漏时，根据所述多参数数据帧获取氧浓度增量Δc、所述半导体腔室的容积V以及绝对压力P，并计算标准化漏率值Q。

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