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苏州希盟智能装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州希盟智能装备有限公司申请的专利晶圆映射寻边装置及晶圆映射寻边方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121586438B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610106593.2,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权晶圆映射寻边装置及晶圆映射寻边方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2026-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆映射寻边装置及晶圆映射寻边方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体加工技术领域,公开了晶圆映射寻边装置及晶圆映射寻边方法。其中,搭接台先吸附固定晶圆,视觉定位机构的粗定位相机对晶圆的标准Notch口或Mark标识进行初步定位,精定位相机基于粗定位结果精对位,将精定位数据传输至中央控制机构进行算法协同;中央控制机构根据协同结果控制第二位置调整机构驱动穿设于机架避位口的对位台沿Z轴方向上升吸附晶圆并围绕θ轴旋转;第一位置调整机构驱动第二位置调整机构沿X轴方向、Y轴方向运动,带动对位台上吸附的晶圆完成位置校准,使晶圆实际圆心与预设基准轴精准重合;校准完成后第二位置调整机构驱动对位台向下远离晶圆,晶圆平稳搭接于搭接台并保持吸附固定,保障晶圆对位精度和寻边准确性。

本发明授权晶圆映射寻边装置及晶圆映射寻边方法在权利要求书中公布了:1.晶圆映射寻边装置,其特征在于,包括: 机架1,所述机架1上设有避位口11; 承载组件2,包括对位台21和多个搭接台22,所述对位台21穿设于所述避位口11,多个所述搭接台22固设于所述机架1上,且沿所述避位口11的周向均布,所述搭接台22上能够搭接并吸附晶圆100,所述对位台21能够承载并吸附所述晶圆100; 视觉定位机构3,包括设置于所述机架1上的粗定位相机31和精定位相机32,所述粗定位相机31被配置为对带有标准Notch口或Mark标识的所述晶圆100进行粗对位,所述精定位相机32被配置为基于粗定位结果对所述晶圆100进行精对位; 第一位置调整机构4和第二位置调整机构5,所述第一位置调整机构4被配置为驱动所述第二位置调整机构5沿X轴方向运动、沿Y轴方向运动,所述对位台21设置于所述第二位置调整机构5的输出端,所述第二位置调整机构5被配置为驱动所述对位台21沿Z轴方向运动、围绕沿所述Z轴方向延伸的所述对位台21的中心轴θ轴旋转,以带动其上所述晶圆100同步运动,使所述晶圆100的实际圆心与预设基准轴重合,所述Z轴方向、所述X轴方向、所述Y轴方向两两相互垂直;所述晶圆100位置调整准确后,所述第二位置调整机构5能够驱动所述对位台21沿所述Z轴方向向下远离所述晶圆100,并使所述晶圆100搭接于所述搭接台22上; 中央控制机构,与所述视觉定位机构3、所述第一位置调整机构4和所述第二位置调整机构5均电连接,能够接收所述视觉定位机构3的定位数据并进行算法协同,基于协同结果控制所述第一位置调整机构4、所述第二位置调整机构5动作,完成对所述晶圆100的映射寻边。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州希盟智能装备有限公司,其通讯地址为:215321 江苏省苏州市昆山市高新区华淞路7号B栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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