江苏芯创微半导体技术有限公司徐雷达获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯创微半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆抬升夹持旋转清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098094U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520710731.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆抬升夹持旋转清洗装置是由徐雷达;荣蛟龙;王宇航设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抬升夹持旋转清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆抬升夹持旋转清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括有清洗槽和预洗机构，清洗槽的内壁一侧设置有传输轨道，清洗槽的外壁一侧开设有进料口，清洗槽的内壁一侧设置有兆声清洗机，预洗机构包括有固定铝板和两个伺服电机，两个伺服电机的顶部均设置有减速机。本实用新型中，通过两个抬升气缸和四个竖向导轨的作用，使其带动两个固定板、两个移动板和四个驱动转轴以及四个转轴套筒向上移动，保证转轴夹紧套筒在轨道传输平面上，然后通过两个夹紧对中气缸伸出，使其带动晶圆旋转驱动转轴及相关组件一起向内移动，伸出至第一限位螺丝和第二限位螺丝限位位置后，停止，气缸磁开反馈到位，此时晶圆夹紧完成。
本实用新型一种晶圆抬升夹持旋转清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抬升夹持旋转清洗装置，包括清洗槽1和预洗机构2，其特征在于：所述清洗槽1的内壁一侧设置有传输轨道3，所述清洗槽1的外壁一侧开设有进料口4，所述清洗槽1的内壁一侧设置有兆声清洗机5； 所述预洗机构2包括有固定铝板201和两个伺服电机202，两个所述伺服电机202的顶部均设置有减速机203，所述固定铝板201的外壁一侧固定安装有四个竖向导轨204，所述固定铝板201的外壁一侧固定安装有四个横向导轨205，两个所述减速机203的顶部均固定安装有移动板206，且两个移动板206的外表壁均与固定铝板201的内部相连通，两个所述移动板206的顶部均固定安装有防水护罩207。
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