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龙图腾网获悉扬帆半导体科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆待料装置、槽式清洗机和晶圆清洁设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098101U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520789258.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆待料装置、槽式清洗机和晶圆清洁设备是由宋昌万;杨杰;孔玉朋;蒋君;陈传磊;李瑞评;张海忠设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆待料装置、槽式清洗机和晶圆清洁设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆待料装置，属于晶圆清洗技术领域。装置设置有清洁水槽壳，支撑架中设置有多个呈水平的容纳腔。这样，经过槽式清洗机清洗后晶圆由支撑架的入口置于容纳腔内；在晶圆限位件上的环形限位凹槽与容纳腔对齐后晶圆中的部分边缘位于环形限位凹槽内；之后，升降驱动件带动驱动件和支撑架同步向清洁水槽壳的槽体内移动，使得晶圆浸入槽体内的清洁水内。这样，集成有晶圆待料装置的槽式清洗机和单片清洗机之间的清洗工艺周期内，该装置仍然能够保证晶圆的清洁度及集成晶圆产品良率。另外，在晶圆浸入槽体内的清洁水内后受到清洁水的浮力，环形限位凹槽会对晶圆产生限位作用，保证晶圆在容纳腔内的位置稳定，进而保证后续取出晶圆时的效率和稳定性。

本实用新型晶圆待料装置、槽式清洗机和晶圆清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆待料装置，其特征在于，所述晶圆待料装置安装在槽式清洗机内，装置包括：清洁水槽壳、支撑架、升降驱动件、晶圆限位件和驱动件； 所述清洁水槽壳具有承载清洗水的槽体； 所述支撑架具有相对设置的入口和出口，以及分布在所述入口和出口之间层叠设置的多个呈水平的容纳腔，每个所述容纳腔用于容置经过所述槽式清洗机清洗后的晶圆； 所述升降驱动件与所述支撑架连接，所述升降驱动件被配置为：带动所述支撑架下降至所述槽体内清洗晶圆； 所述晶圆限位件的侧面具有沿所述晶圆限位件的轴向分布的多个环形限位凹槽，所述多个环形限位凹槽与多个所述容纳腔一一对应，每个所述环形限位凹槽沿所述晶圆限位件的径向延伸； 所述驱动件安装在所述升降驱动件上，所述驱动件与所述晶圆限位件传动连接，所述驱动件被配置为：驱动所述晶圆限位件运动至所述入口处或者出口处，以使所述环形限位凹槽与对应的容纳腔对齐，或者，驱动所述晶圆限位件运动至与所述入口错开或者出口错开； 其中，在所述晶圆位于所述容纳腔内后，所述晶圆中的部分边缘位于所述环形限位凹槽内。

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