东京毅力科创株式会社舆水地盐获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113410114B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110235480.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置是由舆水地盐设计研发完成，并于2021-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明的等离子体处理装置具有基板支承器。基板支承器具有支承基板的第1区域及支承边缘环的第2区域。第1电极设置于第1区域内，第2电极设置于第2区域内。第1偏置电源经由第1电路与第1电极连接。第2偏置电源经由第2电路与第2电极连接。第2电路在第1偏置电源产生的第1电偏置及第2偏置电源产生的第2电偏置的相同的偏置频率下具有比第1电路的阻抗高的阻抗。
本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其具备： 腔室； 基板支承器，设置于所述腔室内，具有：静电卡盘、构成为包括所述静电卡盘的中央区域且支承基板的第1区域、构成为包括所述静电卡盘的周缘区域且支承边缘环的第2区域、在所述静电卡盘内设置于所述第1区域内的第1电极及在所述静电卡盘内设置于所述第2区域内且与所述第1电极分离的第2电极； 第1偏置电源，构成为不与所述第2电极连接而与所述第1电极电连接，将具有相同的偏置频率的第1电偏置周期性地输出到所述第1电极； 第2偏置电源，构成为不与所述第1电极连接而与所述第2电极电连接，将具有所述相同的偏置频率的第2电偏置周期性地输出到所述第2电极，所述第1电偏置及所述第2电偏置分别是包括以由所述相同的偏置频率限定的周期周期性地产生的电压的脉冲的脉冲波； 第1电路，连接于所述第1电极与所述第1偏置电源之间，具有在所述第1偏置电源的负荷侧的所述相同的偏置频率下的阻抗即第1阻抗；及 第2电路，连接于所述第2电极与所述第2偏置电源之间，具有在所述第2偏置电源的负荷侧的所述相同的偏置频率下的阻抗即第2阻抗，所述第2阻抗比所述第1阻抗高，以使配置在所述第1区域上的所述基板的电压波形与配置在所述第2区域上的所述边缘环的电压波形之间的差减小。
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