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龙图腾网获悉山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司申请的专利一种飞行时间二次离子质谱仪及其质谱分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115639268B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211102383.4，技术领域涉及：G01N27/64；该发明授权一种飞行时间二次离子质谱仪及其质谱分析方法是由高业成;曹江城设计研发完成，并于2022-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种飞行时间二次离子质谱仪及其质谱分析方法在说明书摘要公布了：本申请涉及成分分析领域，特别是公开了一种飞行时间二次离子质谱仪及其质谱分析方法，包括步骤S1：在扫描模式下，根据待测样品表面产生的二次离子确定待测样品的成分；步骤S2：将成分聚焦到光栅上，得到第一成分分布图；步骤S3：判断第一成分分布图中是否存在颜色均匀分布的目标区域；步骤S4：若第一成分分布图中存在目标区域，在溅射模式下扫描目标区域，并对待测样品进行质谱分析；步骤S5：若第一成分分布图中不存在目标区域，更换待测样品表面的扫描区域，并执行步骤S1。本申请中的质谱分析方法在对待测样品进行溅射扫描之前，先在扫描模式下对待测样品表面进行扫描，根据成像确定出位置再进行溅射扫描，提升质谱分析的准确性。

本发明授权一种飞行时间二次离子质谱仪及其质谱分析方法在权利要求书中公布了：1.一种飞行时间二次离子质谱分析方法，其特征在于，包括： 步骤S1：在扫描模式下，根据待测样品表面产生的二次离子确定所述待测样品的成分； 步骤S2：将所述成分聚焦到光栅上，得到第一成分分布图；所述第一成分分布图是带有颜色的图片； 步骤S3：判断所述第一成分分布图中是否存在颜色均匀分布的目标区域；颜色均匀分布的目标区域表明该区域成分分布均匀； 步骤S4：若所述第一成分分布图中存在所述目标区域，在溅射模式下扫描所述目标区域，并对所述待测样品进行质谱分析； 步骤S5：若所述第一成分分布图中不存在所述目标区域，更换所述待测样品表面的扫描区域，并执行步骤S1； 在溅射模式下扫描所述目标区域，并对所述待测样品进行质谱分析包括： 在溅射模式下，利用第一离子束扫描所述目标区域，得到与所述目标区域对应的质谱图；利用第一离子束扫描所述目标区域包括：利用O2+离子束扫描所述目标区域，其中，所述O2+离子束的能量在1keV~3keV之间，所述O2+离子束的入射角度在20°~70°之间，扫描时间在30min~120min； 根据所述质谱图确定所述待测样品的成分、成分含量； 获取每种成分在每秒扫描时的谱峰强度； 根据所述谱峰强度确定所述待测样品中各个成分的含量与深度分布关系； 在扫描模式下，根据待测样品表面产生的二次离子确定所述待测样品的成分包括： 在扫描模式下，利用第二离子束扫描所述待测样品的表面，以使所述待测样品表面产生二次离子；利用第二离子束扫描所述待测样品的表面包括：利用Bi+离子束扫描所述待测样品的表面，其中，扫描时间在30s~120s； 根据所述二次离子的飞行时间确定所述二次离子的质核比； 根据所述质核比确定所述待测样品的成分。

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