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纽富来科技股份有限公司加藤靖雄获国家专利权

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龙图腾网获悉纽富来科技股份有限公司申请的专利多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115917708B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180047071.5,技术领域涉及:H10P76/00;该发明授权多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法是由加藤靖雄;川名亮;速水雅生设计研发完成,并于2021-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法在说明书摘要公布了:本发明的一个方式的多带电粒子束描绘装置,其特征在于,具备:射束形成机构,形成多带电粒子束;块区域生成电路,从将在多带电粒子束的各射束与相邻的其他多个射束之间被包围的各小区域组合而成的上述多带电粒子束的照射区域生成多个块区域;以及描绘机构,使用多带电粒子束,以通过多重描绘的任一个描绘处理至少进行各块区域的照射的方式、且以上述多重描绘的各描绘处理使用多个块区域中的一个而在各描绘处理中通过该块区域的照射不重复地覆盖试样的描绘区域的方式进行描绘,由此进行多重描绘。

本发明授权多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法在权利要求书中公布了:1.一种多带电粒子束描绘装置,其特征在于,具备: 射束形成机构,形成多带电粒子束; 块区域生成电路,从将在上述多带电粒子束的各射束与相邻的其他多个射束之间被包围的各小区域组合而成的上述多带电粒子束的照射区域生成多个块区域;以及 描绘机构,使用上述多带电粒子束,以通过多重描绘的任一个描绘处理至少进行各块区域的照射的方式、且以上述多重描绘的各描绘处理使用多个块区域中的一个而在各描绘处理中通过该块区域的照射不重复地覆盖试样的描绘区域的方式,将在上述各描绘处理中要描绘的块区域彼此相互连接地进行描绘,由此进行上述多重描绘。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人纽富来科技股份有限公司,其通讯地址为:日本神奈川县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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