南京理工大学熊吉川获国家专利权
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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种检测半导体发光芯片的偏振显微系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116046776B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310185526.0,技术领域涉及:G01N21/84;该发明授权一种检测半导体发光芯片的偏振显微系统及方法是由熊吉川;陈伟;刘学峰;倪斌;徐彬设计研发完成,并于2023-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测半导体发光芯片的偏振显微系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种检测半导体发光芯片的偏振显微系统及方法,系统包括芯片激发模块、入射照明调制模块、显微调节模块、出射成像模块以及控制与图像处理模块。本发明通过控制模块对入射照明调制模块进行连续偏振调制,调制后的入射光经过显微系统模块作用在发光芯片出射端面,同时利用控制模块调节出射成像模块并进行实时图像收集,通过图像处理模块获得出射端面的偏振参数图像;关闭入射照明模块,利用芯片激发模块激发发光芯片后,通过控制模块调节三维平台和出射成像模块,实时收集图像,最后通过图像处理模块获得近场光斑的偏振参数图。本发明对半导体发光芯片的端面结构和近场光斑具有极强的表征能力以及高灵敏度。
本发明授权一种检测半导体发光芯片的偏振显微系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种检测半导体发光芯片的偏振显微系统,其特征在于,包括: 芯片激发系统模块、入射照明调制模块、显微调节模块、出射成像调制模块、控制与图像处理模块和三维移动平台模块,所述芯片激发系统模块包括稳压电流源1、温度控制系统2、载物平台3,所述入射照明调制模块用于发射线偏振光;所述显微调节模块、出射成像调制模块设置在三维移动平台模块上,所述显微调节模块包括物镜5、同轴调整架9以及半透半反镜10,同轴调整架9用于实现同尺寸半透半反镜10和衰减片19的调换,经过物镜5、半透半反镜10进入出射成像调制模块;所述出射成像调制模块用于检验不同偏振角度的线性偏振光和采集不同偏振角度的偏振光强原图; 所述控制与图像处理模块用于控制三维移动平台模块聚焦到芯片端面位置,同时控制入射照明调制模块得到不同偏振角度的线性偏振光,控制出射成像调制模块采集不同偏振角度的偏振光强原图,并分别对所采集的不同偏振角度的光强原图进行数据处理,获得芯片端面结构和近场光斑的偏振参数图像;所述入射照明调制模块包括光源6、线偏振片17以及步进电机18,所述线偏振片17放置在步进电机18中,步进电机18的一端连接光源,另一端连接显微调节模块;所述出射成像调制模块包括14波片11、步进电机212、线偏振片213、成像透镜14以及面阵CCD15,携带偏振信息的光信号经14波片、线偏振片,由成像透镜14成像到面阵CCD15,所述面阵CCD15位于成像透镜14的焦点位置处,线偏振片213放置在步进电机212中。
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