广纳四维(广东)光电科技有限公司江梦江获国家专利权
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龙图腾网获悉广纳四维(广东)光电科技有限公司申请的专利一种缺陷检测方法、装置、设备以及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116559177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310592192.9,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种缺陷检测方法、装置、设备以及存储介质是由江梦江;王欣欣;史瑞;李晓军设计研发完成,并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种缺陷检测方法、装置、设备以及存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种缺陷检测方法、装置、设备以及存储介质。该方法包括:基于预设步长控制相机运动,对待测样品的表面进行拍摄,以获取至少两张目标局部图片;采用先缺陷检测后拼接的方式,对至少两张目标局部图片进行处理,生成对待测样品的第一缺陷检测结果;采用先拼接后缺陷检测的方式,对至少两张目标局部图片进行处理,生成对待测样品的第二缺陷检测结果;根据第一缺陷检测结果和第二缺陷检测结果,生成对待测样品的最终缺陷检测结果。本发明的技术方案,可以结合先缺陷检测后拼接,以及先拼接后缺陷检测的两种缺陷检测的方式进行缺陷检测,可以在不影响缺陷检测准确性的情况下降低对计算机运行内存的依赖,提高缺陷检测的效率。
本发明授权一种缺陷检测方法、装置、设备以及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种缺陷检测方法,其特征在于,包括: 基于预设步长控制相机运动,对待测样品的表面进行拍摄,以获取至少两张目标局部图片;其中,所述待测样品包括硅片、波导片中任意一种; 采用先缺陷检测后拼接的方式,对至少两张目标局部图片进行处理,生成对待测样品的第一缺陷检测结果;其中,所述第一缺陷检测结果包括缺陷的分布信息和缺陷所属的类别信息; 采用先拼接后缺陷检测的方式,对至少两张目标局部图片进行处理,生成对待测样品的第二缺陷检测结果;其中,所述第二缺陷检测结果包括缺陷的分布信息和缺陷所属的类别信息; 根据第一缺陷检测结果和第二缺陷检测结果,生成对待测样品的最终缺陷检测结果; 其中,所述采用先拼接后缺陷检测的方式,对至少两张目标局部图片进行处理,生成对待测样品的第二缺陷检测结果,包括: 将获取的至少两张目标局部图片进行拼接,生成待测样品的第二全局图,并基于预设的压缩比例,对第二全局图进行压缩,生成压缩全局图; 基于预设的边缘检测算法,对压缩全局图进行边缘提取,并根据边缘提取结果,确定压缩全局图中的结构区和非结构区; 对结构区和非结构区分别进行缺陷检测,生成对待测样品的第二缺陷检测结果。
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