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龙图腾网获悉英福康有限责任公司申请的专利具有三级涡轮分子泵和增压泵的用于质谱泄漏检测的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116601391B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180082542.6，技术领域涉及：F04D19/04；该发明授权具有三级涡轮分子泵和增压泵的用于质谱泄漏检测的装置是由西尔维奥·德克尔;西蒙·马蒂乌达基斯设计研发完成，并于2021-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有三级涡轮分子泵和增压泵的用于质谱泄漏检测的装置在说明书摘要公布了：一种用于对试样进行泄漏检测的装置，包括：质谱仪12；至少三级涡轮分子泵14，其输入泵级18连接到所述质谱仪12，并且具有布置在所述输入泵级18和所述中间泵级26之间的第一中间气体入口36和布置在所述中间泵级26和所述输出泵级24之间的第二中间气体进口42；至少两级增压泵44，其输入泵级46可以连接到待检查的所述试样，并且具有设置在所述输入泵级46和所述输出泵级48之间的中间气体出口54；以及预真空泵22，其连接到所述涡轮分子泵14的所述输出泵级24的所述出口20，并且被配置为在所述涡轮分子泵14的所述出口20处产生小于50mbar的预真空压力，并克服大气压力将其抽空；其特征在于，所述增压泵的所述中间气体出口54通过第一连接支路62以气体传导方式连接到所述涡轮分子泵14的所述第一中间气体入口36，以及所述增压泵44的所述输出泵级48的所述出口56通过第二连接支路64以气体传导方式连接到所述涡轮分子泵14的所述第二中间气体入口42。

本发明授权具有三级涡轮分子泵和增压泵的用于质谱泄漏检测的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于对试样进行泄漏检测的装置，包括： 质谱仪12， 至少三级涡轮分子泵14，其输入泵级18连接到所述质谱仪12，并且包括布置在所述输入泵级18和所述三级涡轮分子泵14的中间泵级26之间的第一中间气体入口36和布置在所述中间泵级26和输出泵级24之间的第二中间气体入口42， 至少两级增压泵44，其输入泵级46适于连接到待检查的所述试样，并且具有设置在所述输入泵级46和输出泵级48之间的中间气体出口54，以及 预真空泵22，其连接到所述涡轮分子泵14的所述输出泵级24的出口20，并且被配置为在所述涡轮分子泵14的所述出口20处产生小于50mbar的预真空压力，并克服大气压力将其抽空， 其特征在于， 所述两级增压泵的所述中间气体出口54通过第一连接支路62以气体传导方式连接到所述涡轮分子泵14的所述第一中间气体入口36，以及 所述两级增压泵44的所述输出泵级48的出口56通过第二连接支路64以气体传导方式连接到所述涡轮分子泵14的所述第二中间气体入口42。

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