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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于FBAR的高灵敏度高精度离心式MEMS陀螺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116625338B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310482549.8，技术领域涉及：G01C19/00；该发明授权一种基于FBAR的高灵敏度高精度离心式MEMS陀螺是由李秀源;邵星灵设计研发完成，并于2023-05-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于FBAR的高灵敏度高精度离心式MEMS陀螺在说明书摘要公布了：本发明涉及微电子机械系统器件领域，具体是一种基于FBAR的高灵敏度高精度离心式MEMS陀螺。本发明解决了现有MEMS陀螺检测灵敏度较低、检测精度较低的问题。一种基于FBAR的高灵敏度高精度离心式MEMS陀螺，包括力敏结构和检测元件；所述力敏结构包括正方形固定框；正方形固定框的左内侧面前部、前内侧面右部、右内侧面后部、后内侧面左部各延伸设置有一根检测梁；四根检测梁的端面各延伸设置有一个正方形质量块；所述检测元件包括四个底电极焊盘、四个顶电极焊盘、四根底电极引线、四根顶电极引线、四个薄膜体声波谐振器。本发明适用于工业控制、航空航天、国防军事、消费电子等领域。

本发明授权一种基于FBAR的高灵敏度高精度离心式MEMS陀螺在权利要求书中公布了：1.一种基于FBAR的高灵敏度高精度离心式MEMS陀螺，其特征在于：包括力敏结构和检测元件； 所述力敏结构包括正方形固定框101； 正方形固定框101的左内侧面前部、前内侧面右部、右内侧面后部、后内侧面左部各延伸设置有一根检测梁102，且四根检测梁102围绕正方形固定框101的中心线旋转对称分布；四根检测梁102的上表面均与正方形固定框101的上表面齐平；四根检测梁102的下表面均高于正方形固定框101的下表面； 四根检测梁102的端面各延伸设置有一个正方形质量块103，且四个正方形质量块103围绕正方形固定框101的中心线旋转对称分布；四个正方形质量块103的上表面与四根检测梁102的上表面一一对应地齐平；四个正方形质量块103的下表面与四根检测梁102的下表面一一对应地齐平； 所述检测元件包括四个底电极焊盘201、四个顶电极焊盘202、四根底电极引线203、四根顶电极引线204、四个薄膜体声波谐振器205； 四个底电极焊盘201均固定于正方形固定框101的上表面，且四个底电极焊盘201围绕正方形固定框101的中心线旋转对称分布； 四个顶电极焊盘202均固定于正方形固定框101的上表面，且四个顶电极焊盘202围绕正方形固定框101的中心线旋转对称分布； 四根底电极引线203围绕正方形固定框101的中心线旋转对称分布； 四根顶电极引线204围绕正方形固定框101的中心线旋转对称分布； 四个薄膜体声波谐振器205一一对应地固定于四根检测梁102的上表面根部，且四个薄膜体声波谐振器205围绕正方形固定框101的中心线旋转对称分布； 四个薄膜体声波谐振器205的底电极一一对应地通过四根底电极引线203与四个底电极焊盘201连接； 四个薄膜体声波谐振器205的顶电极一一对应地通过四根顶电极引线204与四个顶电极焊盘202连接。

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